[发明专利]一种水浴法镀膜装置及采用其的镀膜工艺在审
| 申请号： | 201811445693.X | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109650734A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 瞿佳华 | 申请（专利权）人： | 华夏易能（广东）新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术产业*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应槽 镀膜装置 搅拌装置 超声波装置 镀膜工艺 进入口 水浴法 太阳能电池效率 镀膜技术 离子运动 入口处 流出 容纳 | ||
1.一种水浴法镀膜装置，其特征在于，包括用于容纳反应液的反应槽，所述反应槽内设置有超声波装置和搅拌装置；
所述反应槽设置有反应液进入口，所述搅拌装置位于所述反应液进入口处，所述搅拌装置用于加速从所述反应液进入口流出的反应液与所述反应槽内反应液混合，所述超声波装置用于提高反应液中离子运动速率。
2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述搅拌装置和所述超声波装置均至少设置有一个；
当所述搅拌装置设置有多个时，所述超声波装置相对于所述搅拌装置交错设置有多个。
3.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述反应液进入口位于所述反应槽的底部。
4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述超声波装置与所述搅拌装置之间设置有隔板；
所述隔板用于降低搅拌装置搅动的反应液对所述超声波装置的冲击。
5.根据权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于，所述隔板包括网状结构。
6.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述超声波装置包括超声波探头。
7.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括控制组件，所述控制组件分别连接所述超声波装置和所述搅拌装置。
8.根据权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于，所述控制组件包括主控板和用于检测玻璃基板的感应器；
所述主控板分别连接所述超声波装置、所述搅拌装置和所述感应器。
9.一种镀膜工艺，其特征在于，采用权利要求1－8任意一项所述的镀膜装置，包括；
将反应液从所述反应液进入口注入所述反应槽；
将玻璃基板放入所述镀膜装置内并固定；
打开搅拌装置对反应槽内的溶液进行搅拌，打开超声波振动装置。
10.根据权利要求9所述的镀膜工艺，其特征在于，在所述反应槽内放置两块玻璃基板，所述两块玻璃基板位于所述搅拌装置相对的两侧。
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