[发明专利]一种水浴法镀膜装置及采用其的镀膜工艺

说明书

本发明涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种水浴法镀膜装置及采用其的镀膜工艺，包括用于容纳反应液的反应槽，所述反应槽内设置有超声波装置和搅拌装置；所述反应槽设置有反应液进入口，所述搅拌装置位于所述反应液进入口处，所述搅拌装置用于加速从所述反应液进入口流出的反应液与所述反应槽内反应液混合，所述超声波装置用于增大反应液中离子运动速率；镀膜装置能够提高CdS薄膜层的质量，提高太阳能电池效率。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种水浴法镀膜装置及采用其的镀膜工艺。

背景技术

铜铟镓硒(Cu(In，Ga)Se2：CIGS)薄膜太阳能电池转换效率高，发展前景好；可调整和优化禁带宽度；具有非常高的光吸收系数，制备的太阳能电池只有数微米，降低了原材料的消耗与减轻了电池的重量；电池使用寿命长，无光致衰退效应，在弱光条件下性能依然良好，在空间应用中也具有非常良好的抗干扰、抗辐射能力等多方面的优点。

GIGS薄膜太阳能电池的CdS缓冲层采通常用水浴法制备，CdS的质量影响了GIGS薄膜太阳能电池光转换电流的效率，在CdS薄膜层成膜过程中，玻璃基板竖直放置，气泡和同质反应的生成大颗粒CdS吸附在玻璃基板上，在清洗过程中大颗粒容易脱落，导致CdS薄膜层存在孔洞，影响CdS薄膜层质量和均匀性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种水浴法镀膜装置及采用其的镀膜工艺，其能够提高CdS薄膜层的质量和均匀性，提高太阳能电池效率。

本发明的实施例是这样实现的：

第一方面，本方案提供一种水浴法镀膜装置，包括用于容纳反应液的反应槽，所述反应槽内设置有超声波装置和搅拌装置；

所述反应槽设置有反应液进入口，所述搅拌装置位于所述反应液进入口处，所述搅拌装置用于加速从所述反应液进入口流出的反应液与所述反应槽内反应液混合，所述超声波装置用于提高反应液中离子运动速率。

进一步的，在本发明的一种实施例中，上述搅拌装置和所述超声波装置均至少设置有一个；

当所述搅拌装置设置有多个时，所述超声波装置相对于所述搅拌装置交错设置有多个。

进一步的，在本发明的一种实施例中，上述反应液进入口位于所述反应槽的底部。

进一步的，在本发明的一种实施例中，上述超声波装置与所述搅拌装置之间设置有隔板；

所述隔板用于降低搅拌装置搅动的反应液对所述超声波装置的冲击。

进一步的，在本发明的一种实施例中，上述隔板包括网状结构。

进一步的，在本发明的一种实施例中，上述超声波装置包括超声波探头。

进一步的，在本发明的一种实施例中，上述镀膜装置还包括控制组件，所述控制组件分别连接所述超声波装置和所述搅拌装置。

进一步的，在本发明的一种实施例中，上述控制组件包括主控板和用于检测玻璃基板的感应器；

所述主控板分别连接所述超声波装置、所述搅拌装置和所述感应器。

第二方面，本方案提供一种镀膜工艺，采用上述镀膜装置，包括；

将反应液从所述反应液进入口注入所述反应槽；

将玻璃基板放入所述镀膜装置内并固定；

打开搅拌装置对反应槽内的溶液进行搅拌，打开超声波振动装置。

进一步的，在本发明的一种实施例中，在上述反应槽内放置两块玻璃基板，所述两块玻璃基板位于所述搅拌装置相对的两侧。