[发明专利]考虑机台交互作用的辨识良率损失原因的系统与方法

权利要求书

1.一种辨识良率损失原因的方法，其特征在于，包含：

提供一生产线，该生产线包含复数个制程站，每一所述制程站包含复数个制程机台，每一所述制程机台包含至少一制程装置，每一所述制程装置具有复数个制程参数，所述复数个制程参数是配置以处理复数个工件其中一者，其中所述复数个制程机台间具有复数个机台间参数，每一所述机台间参数代表所述复数个制程机台的两者间的交互作用；

根据复数个生产路径分别处理所述复数个工件，每一所述生产路径指出在所述复数个制程站上的所述复数个制程机台的所述制程装置其中一预设装置，用以处理所述复数个工件其中一者；

对被对应的预设装置处理后的每一所述工件进行量测，以获得对应至所述复数个工件的复数组线上量测值；

对通过该生产线后的每一所述工件进行至少一良率测试，以获得分别对应至所述复数个工件的复数组最终检查值；

根据所述复数组最终检查值决定是否遭遇一良率测试失败；

当遭遇到该良率测试失败时，进行一第一阶段，该第一阶段包含：

基于一第一演算法来建立一第一搜寻模型，其中该第一演算法为一三阶段正交贪婪演算法、一最小绝对压缩挑选机制演算法、或一回归树演算法；

根据所述复数个生产路径、所述复数个制程参数和所述复数个机台间参数，获得用以指出所述复数个工件是否同时通过或使用所述制程装置、所述制程参数和所述机台间参数所组成的一第一组合中的任二元件的一组互动数据；以及

通过输入所述复数个工件的所述复数个生产路径、所述复数个制程参数、所述复数个机台间参数、该组互动数据、所述复数组最终检查值和/或所述复数组线上量测值至该第一搜寻模型中，以辨识出可能会造成该良率测试失败的至少一第一关键装置、和/或至少一第一关键制程参数、和/或至少一第一关键机台间参数、和/或至少一第一关键交互作用；以及在该第一阶段后，进行一第二阶段，该第二阶段包含：

选择该至少一第一关键制程参数和该至少一第一关键机台间参数所组成的一第二组合中的一第一参数；

根据所述复数个工件所使用的该第二组合中的该第一参数的复数个数值，并以每一所述数值为一参考值，来获得用以指出所述复数个数值是否大于或等于该参考值的一组门槛数据；以及

通过输入所述复数个工件的所述复数组最终检查值、所述复数组线上量测值、和该组门槛数据至该第一搜寻模型中，以辨识出可能会造成该良率测试失败的该第二组合中的该第一参数的复数个第一门槛值。

2.根据权利要求1所述的辨识良率损失原因的方法，其特征在于，该第一阶段还包含：

基于一第二演算法来建立一第二搜寻模型，其中该第二演算法与该第一演算法不相同，该第二演算法为该三阶段正交贪婪演算法、该最小绝对压缩挑选机制演算法、或该回归树演算法；

通过输入所述复数个制程参数、所述复数个机台间参数、所述复数个工件的该组互动数据、所述复数组最终检查值、所述复数组线上量测值和所述复数个生产路径至该第二搜寻模型中，以从辨识出可能会造成该良率测试失败的至少一第二关键装置、和/或至少一第二关键制程参数、和/或至少一第二关键机台间参数、和/或至少一第二关键交互作用；

对该至少一第一关键装置、和/或该至少一第一关键制程参数、和/或至少一第一关键机台间参数、和/或至少一第一关键交互作用进行排名与评分，而获得一第一排名评分表；

对该至少一第二关键装置、和/或该至少一第二关键制程参数、和/或该至少一第二关键机台间参数和/或至少一第二关键交互作用进行排名与评分，而获得一第二排名评分表；以及

比较该第一排名评分表和该第二排名评分表间的排名的相似度，以获得一第一信赖指标，来评估辨识结果的可靠程度。