[发明专利]一种晶圆显影承载机构及显影机

权利要求书

1.一种晶圆显影承载机构，其特征在于，所述晶圆显影承载机构包括：

活动组件；

用于支撑所述活动组件的固定组件，所述活动组件可移动地安装在所述固定组件上；

用于驱动所述活动组件在所述固定组件上进行移动的驱动组件，所述驱动组件与所述活动组件传动连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述固定组件包括：

用于支撑所述活动组件的限位支架，所述活动组件可移动地安装在所述限位支架上；

用于支撑所述限位支架的定位支架，所述限位支架和所述驱动组件分别间隔地安装在所述定位支架上。

3.根据权利要求2所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述定位支架包括底板和支撑板，所述支撑板、所述限位支架以及所述驱动组件分别间隔地安装在所述底板上。

4.根据权利要求3所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述限位支架包括光杠、侧板以及光杠固定板，所述光杠和所述侧板分别平行间隔地安装在所述底板上，所述光杠的两端分别与所述底板、所述光杠固定板连接。

5.根据权利要求3所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述驱动组件包括电机、偏心轮以及挡片，所述电机的一端与所述偏心轮传动连接，所述挡片安装在所述偏心轮上，所述偏心轮与所述活动组件传动连接。

6.根据权利要求5所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述驱动组件还包括横向板和纵向板，所述横向板平行地安装在所述底板上，并与所述纵向板的一侧连接；所述纵向板垂直地安装在所述底板上，并处于所述支撑板和所述限位支架之间；所述电机安装在所述纵向板上，并与所述偏心轮传动连接。

7.根据权利要求2所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述活动组件包括活动架和连接架，所述活动架可移动地安装在所述限位支架上，并与所述驱动组件传动连接，所述连接架与所述活动架连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述活动架包括连接块、轴承座以及直线运动轴承；所述轴承座可移动地安装在所述限位支架上，并与所述连接块连接；所述连接块与所述连接架连接；所述直线运动轴承安装在所述轴承座上。

9.根据权利要求8所述的晶圆显影承载机构，其特征在于：所述连接架包括吊架、固定块、支撑支架、横梁、立柱以及用于晶圆自动清洗的吊篮；所述立柱与所述连接块连接；所述横梁的两端分别与所述立柱、所述吊架连接，所述支撑支架的两端分别与所述立柱、所述吊架连接；所述固定块安装在所述吊架上，并分别与所述支撑支架、所述横梁焊接；所述吊篮与所述吊架连接；所述支撑支架与所述横梁平行间隔设置，所述立柱与所述吊架平行间隔设置。

10.一种显影机，其特征在于：所述显影机包括权利要求1至9任一项所述的晶圆显影承载机构。