[发明专利]一种晶圆显影承载机构及显影机

说明书

本发明提供一种晶圆显影承载机构及显影机，属于显影技术领域。其包括活动组件；用于支撑活动组件的固定组件，活动组件可移动地安装在固定组件上；用于驱动活动组件在固定组件上进行移动的驱动组件，驱动组件与活动组件传动连接。该装置用于晶圆的自动机械化清洗，结构简单且使用便捷。

技术领域

本发明涉及显影技术领域，尤其涉及一种晶圆显影承载机构及显影机。

背景技术

槽式显影机是将晶圆放置于显影液体中，利用显影液与光刻胶的化学反应将经过曝光的晶圆表面图形去除或存留的设备，显影过程中需将晶圆上下小幅度移动，以达到更好的显影效果。

目前，使用得较多槽式显影机多为手动，其设计结构存在缺陷人员手动提拉显影，增加员工工作量、工作强度；同时，频繁以手动提拉显影容易疲劳操作，不仅影响产品质量，还存在一定的安全隐患。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆显影承载机构及显影机，旨在解决现有技术中的显影机中手动提拉显影费时费力的问题。

为实现上述目的，本发明的技术方案是：

一种晶圆显影承载机构，所述晶圆显影承载机构包括：

活动组件；

用于支撑所述活动组件的固定组件，所述活动组件可移动地安装在所述固定组件上；

用于驱动所述活动组件在所述固定组件上进行移动的驱动组件，所述驱动组件与所述活动组件传动连接。

作为本发明的一种技术方案，所述固定组件包括：

用于支撑所述活动组件的限位支架，所述活动组件可移动地安装在所述限位支架上；

用于支撑所述限位支架的定位支架，所述限位支架和所述驱动组件分别间隔地安装在所述定位支架上。

根据本发明实施例的晶圆显影承载机构，其通过驱动组件中的电机带动偏心轮与挡片推动活动组件中的吊篮、吊架、固定块、支撑支架、横梁、立柱、连接块、直线运动轴承以及轴承座所在整体的活动架和连接架实现在限位支架中的光杠上进行上下往复运动。同时，电机带动偏心轮与挡片所在的驱动组件与吊篮、吊架、固定块、支撑支架、横梁、立柱、连接块、直线运动轴承、轴承座所在整体的活动架和连接架均放置于底板、支撑板、横向板、纵向板、光杠、侧板、光杠固定板所在整体的限位支架上，从而保证了此机械装置的整体的稳定性。此外，电机以螺栓固定的方式安装于槽式显影机的主体上，双重保证了整个机构的稳定性；其次，晶圆清洗的自动旋转机械吊篮所在的所有零部件均采用焊接与螺栓的固定方式，确保整体安装以及拆卸操作方便快捷，省时省力。同时，该装置使得槽式显影机中的晶圆显影提拉实现机械自动化运动，将显影液体中的晶圆进行机械自动化的上下小幅度移动，能够达到更好的显影效果；该种设计结构通过机械自动化提拉显影，减少了员工工作量以及工作强度，不仅提高了显影质量，而且操作便捷和安全。

另外，根据本发明实施例的用于晶圆显影承载机构，还具有如下附加的技术特征：

作为本发明的一种技术方案，所述定位支架包括底板和支撑板，所述支撑板、所述限位支架以及所述驱动组件分别间隔地安装在所述底板上。

根据该定位支架结构，能够实现支撑整个限位组件和活动组件的效果，使得此机械装置的稳定性更强更坚固。

作为本发明的一种技术方案，所述限位支架包括光杠、侧板以及光杠固定板，所述光杠和所述侧板分别平行间隔地安装在所述底板上，所述光杠的两端分别与所述底板、所述光杠固定板连接。