[发明专利]基板加工装置在审
| 申请号： | 201811456075.5 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110027118A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 中田胜喜;谷垣内平道 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D1/00 | 分类号： | B28D1/00;B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分断装置 条状基板 划线 基板加工装置 分断 基板 划线形成装置 多个单位 基板分断 输送装置 旋转装置 对基板 正交的 吸附 俯视 配置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板加工装置，其具备：
划线形成装置，对基板形成相互正交的多个第一划线和多个第二划线；
第一分断装置，其通过沿着所述基板的所述多个第一划线进行分断，从而形成多个条状基板；
旋转装置，其使所述多个条状基板在俯视下旋转90度；
第二分断装置，其配置于所述第一分断装置的输送方向下游侧，且通过沿着所述多个第二划线分断所述多个条状基板，从而形成多个单位基板；以及
输送装置，其将多个条状基板从所述第一分断装置向所述第二分断装置输送。
2.根据权利要求1所述的基板加工装置，其特征在于，
所述第一分断装置具有第一断开杆，所述第一断开杆以与所述多个第一划线平行的方式延伸，并与所述多个第一划线对应地反复移动/分断。
3.根据权利要求1所述的基板加工装置，其特征在于，
所述第二分断装置具有第二断开杆，所述第二断开杆以与所述多个第二划线平行的方式延伸，并与所述多个第二划线对应地反复移动/分断。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板加工装置，其特征在于，
所述旋转装置具有：
吸附部，其一并吸附所述多个条状基板；
升降部，其使所述吸附部升降；以及
旋转部，其使所述吸附部绕铅直轴中心旋转90度。
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