[发明专利]一种模块化非制冷红外探测器封装方法有效
申请号: | 201811456954.8 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109728102B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 周黄鹤;王春水;王洪兵;方明 | 申请(专利权)人: | 武汉高芯科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/02 | 分类号: | H01L31/02;H01L31/08;H01L31/18 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 程殿军 |
地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模块化 制冷 红外探测器 封装 方法 | ||
1.一种模块化非制冷红外探测器封装方法,其特征在于:包括如下步骤:
S1.制作固定模块,所述固定模块上开设有由上表面向内凹陷形成的凹槽;
S2.将基板或探测器半成品安装在所述固定模块上,所述基板或探测器半成品上需要安装芯片的地方位于所述凹槽内,每个芯片对应一个凹槽,根据基板大小不同设计具有不同的凹槽个数的固定模块,保证基板上每个需要焊接芯片的地方都有对应的凹槽,基板从固定模块的侧面插入固定,或从所述固定模块的底面放入,一个固定模块里可以同时放几个基板,基板也可以部分放入固定模块中,只要基板需要焊接芯片的地方位于固定模块的凹槽内,采用固定模块来放置基板或探测器半成品,避免了工作人员与芯片的接触,直接对固定模块进行转移或其他操作;
S3.在基板或探测器半成品上完成芯片粘贴,采用与所述固定模块匹配的载板,所述载板上安设若干个固定模块,对各所述固定模块内的基板或探测器半成品同时进行芯片粘贴,根据标准化的固定模块设计标准化载板,无须为不同产品重新设计载板以及其他辅助工装,实现所有产品共用一个载板;
S4.设计与所述固定模块匹配的标准化盛放夹具,将装有基板或探测器半成品的各所述固定模块从载板上拆下,放入标准化盛放夹具中一同进行烘烤;
S5.将烘烤好的各所述固定模块再次安设到所述载板上,采用自动打线技术对每一所述芯片进行引线键合;
S6.对键合后的所述芯片进行封盖,采用与标准化固定模块匹配的标准化封盖模块,所述标准化封盖模块正对标准化固定模块压下,同时完成多个芯片的封盖;
S7.抽出封盖完成后的基板或探测器成品。
2.如权利要求1所述的模块化非制冷红外探测器封装方法,其特征在于:在步骤S2中,采用螺纹固定,或弹簧固定,或弹片固定方式从侧面将基板或探测器半成品固定到所述固定模块中。
3.如权利要求1所述的模块化非制冷红外探测器封装方法,其特征在于:在步骤S2中,采用胶粘的方式从所述固定模块的底面将基板或探测器半成品固定到所述固定模块中。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的