[发明专利]一种封装结构、封装方法及在封装方法中使用的模板在审

专利信息
申请号: 201811459526.0 申请日: 2014-01-26
公开(公告)号: CN109742034A 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 王谦;谭琳;蔡坚;陈瑜 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L21/02;H01L21/56;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/488;H01L23/49
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 肖冰滨;王晓晓
地址: 100084*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 封装 基板 封装结构 保护层 芯片 芯片电连接 模塑材料 引线连接 模塑腔 焊盘 贴装 消耗 覆盖
【权利要求书】:

1.一种封装方法,其中,该方法包括:

提供基板;

在所述基板上贴装若干个芯片;

对于若干个所述芯片中的每一个,执行步骤包括:

使用引线键合工艺通过引线将所述基板与所述芯片电连接;

在所述模板的下表面涂敷表面涂料;

在所述基板上放置模板,所述模板具有使整个芯片、所述引线以及与所述引线连接的焊盘暴露的空腔,所述模板的高度高于所述引线的高度,以及所述模板除所述空腔之外的部分还形成有多个孔;

在所述空腔内形成保护层;

使用有机溶剂清洗所述表面涂料;以及

去除所述模板;

其中,通过点胶工艺在所述空腔内填充所述保护层,

通过植球工艺在所述基板的下表面形成焊球阵列;以及

通过切割工艺对所述基板进行切割,以针对若干个所述芯片中的每一个形成一封装结构。

2.根据权利要求1所述的封装方法,其中,所述保护层由环氧塑封料形成。

3.根据权利要求2所述的封装方法,其中,在所述空腔内形成保护层包括:

在所述空腔内填充所述环氧塑封料;

对所述环氧塑封料执行固化工艺形成所述保护层。

4.一种在根据权利要求1-3中任一项权利要求所述的封装方法中使用的模板,其中,该模板具有使所述芯片、所述引线以及与所述引线连接的焊盘暴露的空腔,且所述模板的高度高于所述引线的高度,其中,所述模板除所述空腔之外的部分还形成有多个孔。

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