[发明专利]光学检测方法、系统及光学器件制造系统

权利要求书

1.一种光学检测系统，其特征在于，包括：

图像生成系统：生成测试图像信息并在测试图像信息中加入波前补偿，将含有所述测试图像信息的光输出至待测器件；其中，通过模拟波前以对被测器件中光学器件装配的空间位置进行检测调整，或所述波前补偿用于补偿被测器件中缺失的光学部件；

图像检测系统：根据经过所述待测器件的光得到检测图像信息；

控制系统：计算和/或选取所述测试图像信息，输出至图像生成系统。

2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述控制系统，根据所述检测图像信息的成像质量，得到像差参数。

3.根据权利要求2所述的光学检测系统，其特征在于，所述控制系统包括：

标准判断系统：判断检测参数是否满足判断标准；若满足判断标准，则输出检测结果；否则，则根据当前的像差参数得到补偿参数，并将补偿参数叠加到当前的测试图像信息上进行补偿，由图像生成系统生成补偿后的测试图像信息。

4.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述测试图像信息包括调制波前的全息图或者相息图。

5.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述测试图像信息占待测器件目标像高的全部或部分；和/或，所述测试图像信息占待测器件目标视场的全部或部分。

6.根据权利要求4所述的光学检测系统，其特征在于，所述图像生成系统分别生成包含设定波前调制的测试图像信息，对应待测器件目标像高的不同部分，和/或目标视场的不同部分；并且所述测试图像信息以不同参数和/或针对对象先后输出多次。

7.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述图像生成系统包括至少一个空间光调制器。

8.根据权利要求7所述的光学检测系统，其特征在于，所述至少一个空间光调制器中具有相位空间光调制器和/或强度空间光调制器。

9.根据权利要求7所述的光学检测系统，其特征在于，所述空间光调制器包含硅基液晶、LCD、微镜阵列DMD、OLED、微振镜、光栅、光栅阵列中的任一种或任多种器件。

10.根据权利要求9所述的光学检测系统，其特征在于，所述硅基液晶器件采用相位调制方式。

11.根据权利要求9所述的光学检测系统，其特征在于，所述硅基液晶器件采用ECB或VAN模式。

12.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述图像生成系统包括光源、透镜、光阑、旋光片、玻片、偏振片、棱镜中的任一种或任多种光学元器件。

13.根据权利要求12所述的光学检测系统，其特征在于，所述光源包含一个或多个波长。

14.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述图像检测系统包括CCD、CMOS、胶片中的任一种或任多种成像器件。

15.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述控制系统控制并同步图像生成系统及图像检测系统。

16.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述控制系统根据所得输入图像和/或波前信息，以实时计算或者读取的方式得出所述检测图像信息，输出至所述图像生成系统，所述图像生成系统在物理上生成所述检测图像信息，调制出所需光波前和/或光场。

17.根据权利要求16所述的光学检测系统，其特征在于，所述控制系统根据所述图像检测系统的反馈进行所述实时计算或者读取。