[发明专利]一种高性能银钯复合键合材料在审
申请号: | 201811472027.5 | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN109321774A | 公开(公告)日: | 2019-02-12 |
发明(设计)人: | 田鹏;房跃波 | 申请(专利权)人: | 北京椿树电子材料有限公司 |
主分类号: | C22C5/06 | 分类号: | C22C5/06;C22C1/02;B22D11/041;B22D11/113;C22F1/14;C23F15/00;C23F17/00 |
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地址: | 100031 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 银钯 复合键 合材料 银合金材料 复合材料 键合 等离子清洗机 表面形成 力学性能 保护膜 重量份 制备 合金 清洗 腐蚀 占据 | ||
1.一种高性能银钯复合键合材料,其特征是包括如下按重量份组成的原料:银70~80份、钯5~15份、铜1~3份、锌0.8~1.6份和钌0.3~1.2份。
2.根据权利要求1所述的高性能银钯复合键合材料,其特征是包括如下按重量份组成的原料:银73~76份、钯8~12份、铜1.5~2.5份、锌1.2~1.4份和钌0.6~1.0份。
3.根据权利要求2所述的高性能银钯复合键合材料,其特征是包括如下按重量份组成的原料:银75份、钯10份、铜2份、锌1.3份和钌0.8份。
4.根据权利要求1~3任一所述的高性能银钯复合键合材料,其特征是,所述银的纯度不低于99.999%,钯的纯度不低于99.999%。
5.一种如权利要求1~4任一所述高性能银钯复合键合材料的制备方法,其特征是,包括以下具体步骤:
(1)按重量份称取银、钯、铜、锌和钌,备用;
(2)将称取的铜、锌和钌混合后进行真空熔炼,并搅拌均匀,形成的铜锌钌混合液浇筑到模具中,制成铜锌钌三元合金铸锭,冷却备用;
(3)将按照重量份称取的银、钯分别在真空熔炉中加热融化,之后混合搅拌均匀,制成银钯合金液, 银钯合金液浇筑到模具中,制成银钯合金块,冷却备用;
(4)将步骤(2)中的铜锌钌三元合金铸锭与步骤(3)中的银钯合金块放入真空下拉连铸炉中,抽真空加热,采用定向凝固方法,下拉连铸得到银钯复合块材料,退火冷却;
(5)将所述步骤(4)中得到的银钯复合块材料放入等离子清洗机中清洗10~15秒,烘干制得所述高性能银钯复合键合材料。
6.根据权利要求5所述高性能银钯复合键合材料的制备方法,其特征是,所述步骤(2)中真空熔炼的温度为1100~1200℃。
7.根据权利要求5所述高性能银钯复合键合材料的制备方法,其特征是,所述步骤(4)退火的温度为500~700℃,退火速度为50~65m/min。
8.根据权利要求5所述高性能银钯复合键合材料的制备方法,其特征是,所述步骤(5)等离子清洗机的气源为空气,工作气压为0.05~0.5MPa,输出功率为300~900W。
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