[发明专利]蒸镀腔结构及遮挡板结构有效
| 申请号： | 201811479218.4 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109371369B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 徐超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀腔 结构 遮挡 板结 | ||
1.一种蒸镀腔结构，用于待镀基板，其特征在于，所述蒸镀腔结构包含：
腔体；
材料喷嘴，位于所述腔体内部下方，用来喷出欲镀原料至位于所述腔体内部上方的所述待镀基板；以及
遮挡板结构，包含：
支撑部；
数个支撑条，每一所述支撑条的一端连接所述支撑部；以及
数个副遮挡板，每一所述副遮挡板位于所述支撑条之间，且具有相同的圆心角，当每一所述支撑条带动每一所述副遮挡板并以所述支撑部为轴心转动时，所述数个副遮挡板通过所述支撑条收合重叠或以每一所述圆心角展开覆盖。
2.如权利要求1所述的蒸镀腔结构，其特征在于，当所述数个副遮挡板展开覆盖时，每一个所述副遮挡板状为扇形。
3.如权利要求1所述的蒸镀腔结构，其特征在于，当所述数个副遮挡板展开覆盖时，每一个所述副遮挡板状为三角形。
4.如权利要求1所述的蒸镀腔结构，其特征在于，所述数个副遮挡板收合重叠或展开覆盖，通过所述数个副遮挡板的收合重叠或展开覆盖合，控制所述欲镀原料的浓度。
5.如权利要求4所述的蒸镀腔结构，其特征在于，当所述欲镀原料浓度达预设值时，所述数个副遮挡板以所述支撑部为中心收合重叠，使所述欲镀原料蒸镀至所述待镀基板上；当所述欲镀原料浓度未达预设值时，所述数个副遮挡板以所述支撑部为中心展开覆盖，避免所述欲镀原料蒸镀至所述待镀基板上。
6.一种遮挡板结构，其特征在于，包含：
支撑部；
数个支撑条，每一所述支撑条的一端连接所述支撑部；以及
数个副遮挡板，每一所述副遮挡板位于所述支撑条之间，且具有相同的圆心角，当每一所述支撑条带动每一所述副遮挡板并以所述支撑部为轴心转动时，所述数个副遮挡板通过所述支撑条收合重叠或以每一所述圆心角展开覆盖。
7.如权利要求6所述的遮挡板结构，其特征在于，当所述数个副遮挡板展开覆盖时，每一个所述副遮挡板状为扇形。
8.如权利要求6所述的遮挡板结构，其特征在于，当所述数个副遮挡板展开覆盖时，每一个所述副遮挡板状为三角形。
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