[发明专利]蒸镀腔结构及遮挡板结构

说明书

一种蒸镀腔结构以及遮挡板结构。所述蒸镀腔结构包含腔体、材料喷嘴以及遮挡板结构。所述材料喷嘴位于所述腔体内部下方，用来喷出欲镀原料至待镀基板。所述遮挡板包含支撑部、数个支撑条以及数个副遮挡板。数个副遮挡板位于所述支撑条之间，所述数个副挡板通过所述支撑条收合重叠或展开覆盖。利用本发明提供的蒸镀腔结构可以使遮挡板的重量分散在数个副遮挡板上，避免蒸镀机中的遮挡板重量过重而下垂，导致材料逸散。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其是涉及蒸镀有机发光材料技术的领域。

背景技术

有机发光二极体(Organic Light Emitting Diode,OLED)显示器具有亮度高、反应快、耗能低、具柔软性等优点，因此逐渐成为显示领域发展的重点技术。因上述优点，与薄膜晶体管(Thin film transistor,TFT)显示器相比，OLED显示器更适合用于制备大尺寸、薄型、柔性、透明及双面显示的显示器。

目前制备OLED显示器的方式通常是利用蒸镀工艺在基板上形成有机材料层，通过蒸镀机将小分子的有机材料蒸镀至面板的基板上。请参考图1，蒸镀机具有可容纳待镀基板的蒸镀腔10，蒸镀材料由下方喷嘴12喷出时，由于喷嘴12的喷嘴口较小，因此蒸镀材料会无法均匀分布于基板14上，因此蒸镀腔10中具有遮挡板100位于喷嘴12与基板14之间。现有的遮挡板100由主遮挡板102、副遮挡板104及支撑部106组成。当喷嘴12刚喷出有机材料时，主遮挡板102与副遮挡板104闭合使有机材料在遮挡板100下方扩散，当有机材料扩散均匀且达预定浓度时，主遮挡板102与副遮挡板104以支撑部106为中心分离使有机材料均匀地蒸镀到基板14上。

然而当制备大尺寸面板时，蒸镀机中的蒸镀腔直径也较大，此时也需要面积较大的遮挡板。如图2所示，蒸镀腔20同样具有位于喷嘴22与基板24之间的遮挡板200，遮挡板200由主遮挡板202、副遮挡板204及支撑部206所组成。由于此时遮挡板200的面积较大，而遮挡板200只有一个与支撑部206相连的支撑点，因此主遮挡板202就容易因面积大、重量重而使主遮挡板202下垂，使得主遮挡板202与副遮挡板204无法完全闭合，导致有机材料逸散到基板24上而影响面板的品质。

因此，需要一种用于蒸镀机中的遮挡板结构，来解决在制备大尺寸面板时，遮挡板只具有单一支撑点使得支撑力不足导致主遮撑板下垂的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀腔结构，包含腔体、材料喷嘴以及遮挡板结构。所述材料喷嘴位于所述腔体内部下方，用来喷出欲镀原料至待镀基板。所述遮挡板结构包含支撑部、数个支撑条以及数个副遮挡板。所述数个支撑条连接所述支撑部。所述数个副遮挡板位于所述支撑条之间，所述数个副挡板通过所述支撑条收合重叠或展开覆盖。

较佳地，当所述数个副遮挡板展开覆盖时，每一个所述副遮挡板状为扇形。

较佳地，当所述数个副遮挡板展开覆盖时，每一个所述副遮挡板状为三角形。

较佳地，当所述数个副遮挡板展开覆盖时，每一个所述副遮板具有相同的圆心角。

较佳地，所述数个副遮挡板可以收合重叠或展开覆盖，通过所述数个副遮挡板的收合重叠或展开覆盖合，控制所述欲镀原料的浓度。

较佳地，所述数个副遮挡板可以收合重叠或展开覆盖，通过所述数个副遮挡板的收合重叠或展开覆盖合，控制所述欲镀原料的浓度，当所述欲镀原料浓度达预设值时，所述数个副遮挡板以所述支撑部为中心收合重叠，使所述欲镀原料蒸镀至所述待镀基板上；当所述欲镀原料浓度未达预设值时，所述数个副遮挡板以所述支撑部为中心展开覆盖，避免所述欲镀原料蒸镀至所述待镀基板上。

本发明还提供一种遮挡板结构，包含支撑部、数个支撑条以及数个副遮挡板。所述数个支撑条连接所述支撑部。所述数个副遮挡板位于所述支撑条之间，所述数个副挡板通过所述支撑条收合重叠或展开覆盖。