[发明专利]基板搬入搬出装置、处理装置和基板搬送容器的除电方法

权利要求书

1.一种基板搬入搬出装置，具有：

隔壁，其划分出基板搬送区域和容器搬送区域；

搬送口，其形成于所述隔壁；以及

气体供给机构，其从所述搬送口的开口缘部向使基板收纳容器的取出口的开口缘部与所述搬送口的开口缘部紧密接合后的基板收纳容器的内部吹送被电离了的气体。

2.根据权利要求1所述的基板搬入搬出装置，其特征在于，

所述气体供给机构具有：

气体供给管，其形成于所述隔壁，具有喷出所述气体的喷出口；

气体供给管线，其与所述气体供给管连通，向所述气体供给管供给所述气体；以及

电离装置，其设置于所述气体供给管线，使在所述气体供给管线中流动的所述气体电离。

3.根据权利要求2所述的基板搬入搬出装置，其特征在于，具有：

电位计，其检测所述基板收纳容器的内表面的电位；以及

控制部，其基于由所述电位计检测出的所述基板收纳容器的内表面的电位来控制所述电离装置的动作。

4.根据权利要求3所述的基板搬入搬出装置，其特征在于，

具有开闭门，所述开闭门用于打开和关闭所述搬送口，

所述电位计安装于所述开闭门。

5.一种基板处理装置，具有：

根据权利要求1至4中的任一项所述的基板搬入搬出装置；

搬送机构，其设置于所述基板搬送区域内，用于搬送基板；以及

处理容器，其设置于所述基板搬送区域内。

6.一种基板收纳容器的除电方法，具有以下工序：

使基板收纳容器的取出口的开口缘部同形成于隔壁的搬送口的开口缘部紧密接合，该隔壁划分出基板搬送区域和容器搬送区域；以及

从所述搬送口的开口缘部向所述基板收纳容器的内部吹送被电离了的气体。

7.根据权利要求6所述的基板收纳容器的除电方法，其特征在于，具有以下工序：

在从所述搬送口的开口缘部向所述基板收纳容器的内部吹送被电离了的气体的工序之前，通过用于打开和关闭所述搬送口的开闭门封闭所述搬送口。

8.根据权利要求6或7所述的基板收纳容器的除电方法，其特征在于，

在拆卸下用于封闭所述基板收纳容器的所述取出口的盖体的状态下进行从所述搬送口的开口缘部向所述基板收纳容器的内部吹送被电离了的气体的工序。

9.根据权利要求6至8中的任一项所述的基板收纳容器的除电方法，其特征在于，

在所述基板收纳容器的内部没有收纳基板的状态下进行从所述搬送口的开口缘部向所述基板收纳容器的内部吹送被电离了的气体的工序。

10.根据权利要求6至9中的任一项所述的基板收纳容器的除电方法，其特征在于，具有以下工序：

在从所述搬送口的开口缘部向所述基板收纳容器的内部吹送被电离了的气体的工序之后，利用盖体来封闭所述基板收纳容器的所述取出口。