[发明专利]一种太阳能有色选择性吸收涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能有色选择性吸收涂层，包括基体，其特征在于：所述的基体的表面依次设有第一红外反射层、第二吸收层、第三光学介层、第四吸收层、第五减反层，第一红外反射层直接位于基体的表面；

所述的第一红外反射层的透射率为0；

所述的第二吸收层在300-2500nm的波长范围内折射率为1.80-4.00，消光系数在300-2500nm的波长范围内为1.0-3.5；

所述的第三光学介层在300-2500nm的波长范围内折射率低于1.2-1.8，消光系数在300-500nm间的波长范围内为0.01-0.001间，在500-2500nm的波长范围内低于0.001；

所述的第四吸收层在300-2500nm的波长范围内折射率低于1.0-1.5，消光系数在300-500nm间的波长范围内为0.01-0.001间，在500-2500nm的波长范围内低于0.001；

所述的第五减反层至少包括一层可用于调色的氧化物材料层。

2.根据权利要求1所述的太阳能有色选择性吸收涂层，其特征在于：所述的基体采用的是石英透明玻璃材料。

3.根据权利要求1所述的太阳能有色选择性吸收涂层，其特征在于：所述的第一红外反射层为Cu层，厚度为100-200nm。

4.根据权利要求1所述的太阳能有色选择性吸收涂层，其特征在于：所述的第二吸收层为Ti层，厚度为15-30nm。

5.根据权利要求1所述的太阳能有色选择性吸收涂层，其特征在于：所述的第三光学介层为Al₂O₃层，厚度为40-100nm。

6.根据权利要求1所述的太阳能有色选择性吸收涂层，其特征在于：所述的第四吸收层为Ti层，厚度为20-50nm。

7.根据权利要求1所述的太阳能有色选择性吸收涂层，其特征在于：所述的第五减反层共设有两个减反层，将两个减反层中的一层兼作调色层，两个减反层中，第一层为TiO₂层，厚度为20-50nm，第二层为Al₂O₃层，厚度为70-100nm，两层中任何一层可用于调色。

8.根据权利要求1-7任一项所述的太阳能有色选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于：该方法采用中频磁控溅射法的具体步骤如下：

第一步，在惰性气体中，开启Cu靶材，工作气压为0.3-1.5 Pa，溅射功率为100-500W，在基体表面沉积一层厚度为100-200nm的第一红外反射层；

第二步，在惰性气体中，开启Ti靶材，工作气压为0.2-1.5 Pa，溅射功率为100-600 W，在第一红外反射层沉积一层厚度为15-30 nm的第二吸收层；

第三步，在惰性气氛中，通入O₂反应气体，开启Al靶材，溅射功率为100-500 W，在吸收层之上沉积一层厚度为40-100nm的第三光学介层；

第四步，在惰性气体中，开启Ti靶材，工作气压为0.2-1.5 Pa，溅射功率为100-600 W，在第三光学介层沉积一层厚度为20-50nm 的第四吸收层；

第五步，在惰性气体中，通入O₂，并且惰性气体与O₂的质量比为1:3~3:1，工作气压为0.2-1.0 Pa，开启Ti靶材，溅射功率为100-500W，在第四吸收层之上沉积一层厚度为20-50nm的TiO₂减反层，该层为调色层；

第六步，在惰性气体中，通入O₂，并且惰性气体与O₂的质量比为1:3~3:1，工作气压为0.2-1.2 Pa，开启Al靶材，溅射功率为100-500W，在调色层之上沉积一层厚度为70-100nm的Al₂O₃减反层。

9.根据权利要求8所述的太阳能有色选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于：所述的惰性气氛为Ar气体。