[发明专利]一种太阳能有色选择性吸收涂层及其制备方法

说明书

本发明公开了一种太阳能有色选择性吸收涂层及其制备方法，该吸收涂层包括基体，所述的基体的表面依次设有第一红外反射层、第二吸收层、第三光学介层、第四吸收层、第五减反层，第一红外反射层直接位于基体的表面；所述的第五减反层共设有两个减反层，将两个减反层中的一层兼作调色层，两个减反层中，第一层为TiO₂层，第二层为Al₂O₃层，两层中任何一层可用于调色。第一红外反射层为Cu层；第二吸收层为Ti层；第三光学介层为Al₂O₃层；第四吸收层为Ti层，厚度为20‑50nm。本发明可有效提高吸收效率,具有很好的耐高温性能；制备方法采用的中频磁控溅射法，可以大大降低制备成本。

技术领域

本发明涉及一种太阳能吸收涂层及其制备方法，具体是一种太阳能有色选择性吸收涂层及其制备方法。

背景技术

国家知识产权局于2015年2月18日公开了公开号为CN204165260U的专利文献，太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，所述涂层由基体表面从内到外依次设置的粘结层(1)、红外反射层(2)、扩散阻挡层(3)、高金属陶瓷吸收层(4)、低金属陶瓷吸收层(5)和减反层(6)组成；所述粘结层(1)位于基体与红外反射层(2)之间，所述粘结层由不锈钢SS、Mo或Si3N4组成，粘结层的厚度为10~30nm；所述红外反射层(2)位于粘结层(1)与扩散阻挡层(3)之间，由具有高红外反射的金属材料制成，红外反射层的厚度为80~300nm；所述具有高红外反射的金属材料包括但不限于Cu、Ag或Al；所述扩散阻挡层(3)位于红外反射层(2)与高金属吸收层(4)之间，扩散阻挡层的材料为Si₃N₄，扩散阻挡层的厚度为10~30nm；所述高金属陶瓷吸收层(4)位于扩散阻挡层(3)与低金属陶瓷吸收层(5)之间，高金属陶瓷吸收层中金属体积分数为40％~60％，高金属陶瓷吸收层厚度为30~150nm；所述低金属陶瓷吸收层(5)位于高金属陶瓷吸收层(4)与减反层(6)之间，低金属陶瓷吸收层中金属体积分数为20％~40％，低金属陶瓷吸收层厚度为30~150nm；所述金属包括但不限于SS、Mo、NiCr；~所述减反层(6)位于低金属陶瓷吸收层(5)的外层，减反层由Si₃N₄或SiO₂，或者两者混合组成，减反层的厚度为50太阳能选择性吸收涂层，其特征在于，所述涂层由基体表面从内到外依次设置的粘结层(1)、红外反射层(2)、扩散阻挡层(3)、高金属陶瓷吸收层(4)、低金属陶瓷吸收层(5)和减反层(6)组成；所述粘结层(1)位于基体与红外反射层(2)之间，所述粘结层由不锈钢SS、Mo或Si3N4组成，粘结层的厚度为10~30nm；所述红外反射层(2)位于粘结层(1)与扩散阻挡层(3)之间，由具有高红外反射的金属材料制成，红外反射层的厚度为80~300nm；所述具有高红外反射的金属材料包括但不限于Cu、Ag或Al；所述扩散阻挡层(3)位于红外反射层(2)与高金属吸收层(4)之间，扩散阻挡层的材料为Si₃N₄，扩散阻挡层的厚度为10~30nm；所述高金属陶瓷吸收层(4)位于扩散阻挡层(3)与低金属陶瓷吸收层(5)之间，高金属陶瓷吸收层中金属体积分数为40％~60％，高金属陶瓷吸收层厚度为30~150nm；所述低金属陶瓷吸收层(5)位于高金属陶瓷吸收层(4)与减反层(6)之间，低金属陶瓷吸收层中金属体积分数为20％~40％，低金属陶瓷吸收层厚度为30~150nm；所述金属包括但不限于SS、Mo、NiCr；所述减反层(6)位于低金属陶瓷吸收层(5)的外层，减反层由Si₃N₄或SiO₂，或者两者混合组成，减反层的厚度为50~100nm。