[发明专利]多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法及检测系统

权利要求书

1.一种多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷，然后通入碱溶液吸收氯化氢来测定其中氯化氢的含量，再测定其中氢气的含量、氧气的含量；

除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢，再测定其中氯硅烷的含量；

根据未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢的含量、氢气的含量、氧气的含量、氯硅烷的含量，计算未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氮气含量。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述步骤除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷的具体方法为：将未处理的待测多晶硅生产中的尾气通入到氟化氢溶液中除去氯硅烷。

3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述氟化氢溶液的浓度为5～15mas％。

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述步骤通入碱溶液吸收氯化氢来测定其中氯化氢的含量时所用的碱溶液为氢氧化钠溶液或氢氧化钾溶液，并使用指示剂指示碱溶液是否饱和吸收。

5.根据权利要求4所述的检测方法，所述碱溶液的浓度为0.5～2M。

6.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述步骤除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢具体为：将未处理的待测多晶硅生产中的尾气通入到固体的碱中除去氯化氢。

7.根据权利要求6所述的检测方法，其特征在于，所述固体的碱为固体的氢氧化钠或固体的氢氧化钾。

8.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述步骤通入碱溶液吸收氯化氢来测定其中氯化氢的含量，与所述步骤再测定其中氢气的含量、氧气的含量之间还包括干燥步骤。

9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述干燥步骤所用的干燥剂为固体的五氧化二磷或固体的氯化钙。

10.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述步骤除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢之前还包括将未处理的待测多晶硅生产中的尾气进行干燥的步骤，之后再将未处理的待测多晶硅生产中的尾气进行干燥后再除去氯化氢。

11.根据权利要求10所述的检测方法，其特征在于，将未处理的待测多晶硅生产中的尾气进行干燥的步骤所用的干燥剂为固体的五氧化二磷或固体的氯化钙。

12.一种权利要求1～11任意一项所述方法所用的多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测系统，其特征在于，包括：

第一检测装置，用于除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷，通入碱溶液吸收氯化氢来测定其中氯化氢的含量；

第二检测装置，与第一检测装置连接，第二检测装置用于测定除去氯硅烷、氯化氢的待检测气体中的氢气的含量、氧气的含量；

第三检测装置，用于除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢，再测定其中氯硅烷的含量；

控制器，用于根据第一检测装置检测出的未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢的含量，第二检测装置检测出的氢气的含量、氧气的含量，第三检测装置检测出的氯硅烷的含量，计算未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氮气含量。

13.根据权利要求12所述的检测系统，其特征在于，

第一检测装置包括：

第一吸收器，用于通过其内的第一吸收溶液吸收未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷；

第二吸收器，与第一吸收器连接，第二吸收器用于通过其内的第二吸收液吸收氯化氢的方法测定其中氯化氢的含量；

第二检测装置包括：

第一干燥器，与第二吸收器连接，第一干燥器用于通过其内的干燥剂吸收水；

第一气体分析仪，与第一干燥器连接，第一气体分析仪用于测定其中氢气的含量、氧气的含量；

第三检测装置包括：

第二干燥器组，用于通过其内的干燥剂吸收未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的水；

第三吸收器，与第二干燥器组连接，第三吸收器用于通过其内的第三吸收液吸收未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢；

第二气体分析仪，与第三吸收器连接，第二气体分析仪用于测定其中氯硅烷的含量。