[发明专利]多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法及检测系统

说明书

本发明公开了一种多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法及检测系统，该方法包括以下步骤：除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷，然后通入碱溶液吸收氯化氢来测定其中氯化氢的含量，再测定其中氢气的含量、氧气的含量；除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢，再测定其中氯硅烷的含量；根据未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢的含量、氢气的含量、氧气的含量、氯硅烷的含量，计算未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氮气含量。该方法可以准确测定多晶硅生产中废气处理工序的尾气中各组分含量，在每一种气体含量检测之前，均对干扰因子进行了去除，确保每一过程均为单项检测，确保了检测结果的准确性。

技术领域

本发明属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法及检测系统。

背景技术

目前，世界上先进的生产电子级多晶硅的方法是改良西门子法，在本工艺中冷氢化泄压，还原炉置换等尾气统一排入废气处理工序进行处理，处理后的气体称为尾气，主要含有氯硅烷、氯化氢、氢气、氧气、氮气等。被收集的尾气经处理之后直接排入大气中，但是由于此部分气体有可能没有被处理完全，导致含有氯化氢和氯硅烷的气体进入大气，引起环境污染，因此需要对尾气中氯硅烷、氯化氢、氧气和氮气含量进行准确测定，避免环境污染。

现有技术中的方法中均只提及对还原尾气中氯硅烷含量的检测，并未对尾气中的各个组分的相应含量的检测方法，没有准确对多晶硅生产中还原尾气对氯硅烷含量，氯化氢含量，氢气含量，氧气含量和氮气含量的成分进行定量检测的装置和方法。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法及检测系统，可以准确测定多晶硅生产中废气处理工序的尾气中的氯硅烷含量、氯化氢含量、氧气含量、氢气含量、氮气含量。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是提供一种多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法，包括以下步骤：

除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷，然后通入碱溶液吸收氯化氢来测定其中氯化氢的含量，再测定其中氢气的含量、氧气的含量；

除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢，再测定其中氯硅烷的含量；

根据未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢的含量、氢气的含量、氧气的含量、氯硅烷的含量，计算未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氮气含量。

具体的，多晶硅生产中的尾气为多晶硅生产中废气处理工序中的尾气。

优选的是，未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氮气含量为未处理的待测多晶硅生产中的尾气的总量-氯化氢的含量-氢气的含量-氧气的含量-氯硅烷的含量。

优选的是，所述步骤除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷的具体方法为：将未处理的待测多晶硅生产中的尾气通入到氟化氢溶液中除去氯硅烷。

优选的是，所述氟化氢溶液的浓度为5～15mas％。

优选的是，所述步骤通入碱溶液吸收氯化氢来测定其中氯化氢的含量时所用的碱溶液为氢氧化钠溶液或氢氧化钾溶液，并使用指示剂指示碱溶液是否饱和吸收。

优选的是，指示剂为溴甲酚绿指示剂或酚酞指示剂。

优选的是，溴甲酚绿指示剂的浓度为0.5～2g/L，酚酞指示剂的浓度为10～15g/L。

优选的是，所述碱溶液的浓度为0.5～2M。

优选的是，所述步骤除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢具体为：将未处理的待测多晶硅生产中的尾气通入到固体的碱中除去氯化氢。

优选的是，所述固体的碱为固体的氢氧化钠或固体的氢氧化钾。