[发明专利]多波长高分辨力立体视觉测量装置与方法

权利要求书

1.多波长高分辨力立体视觉测量系统，其特征在于，包括至少两个单目测量装置；

所述单目测量装置包括：激光照明模块、视觉摄像模块和扫描放大测量模块；

所述激光照明模块包括：激光器、准直器（14）、PBS（9）、二维振镜（8）、扫描透镜（7）、第一场镜（6）、管镜（5）、物镜（4）、第二场镜（3）和摄影镜头（2）；

所述激光照明模块中激光器发出激光，准直后形成平行光，经过PBS（9）反射后再经过二维振镜（8）和扫描透镜（7）后聚焦于第一场镜（6）光心位置处，光束经过管镜（5）后形成平行光后被物镜（4）聚焦于第二场镜（3）光心位置，再经摄影镜头（2）聚焦于三维被测样品（1）表面形成聚焦光斑，所述聚焦光斑照射样品表面，发出反射光；

所述视觉摄像模块包括：摄影镜头（2）、第二场镜（3）、物镜（4）、管镜（5）、第一场镜（6）、扫描透镜（7）、二维振镜（8）、PBS（9）、带通滤光片（10）、聚焦透镜（11）、针孔（12）和PMT探测器（13）；

所述三维被测样品（1）表面发出的反射光依次经过摄影镜头（2）、第二场镜（3）、物镜（4）、管镜（5）、第一场镜（6）、扫描透镜（7）、二维振镜（8）、PBS（9）、带通滤光片（10）、和聚焦透镜（11）、针孔（12）后被PMT探测器（13）收集；

所述扫描放大测量模块包括：激光器、准直器（14）、PBS（9）、二维振镜（8）、扫描透镜（7）、第一场镜（6）、管镜（5）、物镜（4）、第二场镜（3）、带通滤光片（10）、聚焦透镜（11）、针孔（12）和PMT探测器（13）；

其中，不同的单目测量装置内的带通滤光片（10）的中心频率不同；

所述扫描放大测量模块按照信号光传播方向依次为：激光器、准直器（14）、PBS（9）、二维振镜（8）、扫描透镜（7）、第一场镜（6）、管镜（5）、物镜（4）、第二场镜（3）、物镜（4）、管镜（5）、第一场镜（6）、扫描透镜（7）、二维振镜（8）、PBS（9）、带通滤光片（10）、聚焦透镜（11）、针孔（12）和PMT探测器（13）。

2.根据权利要求1所述的多波长高分辨力立体视觉测量系统，其特征在于，所述立体视觉测量系统的成像方式为振镜扫描成像。

3.根据权利要求1所述的多波长高分辨力立体视觉测量系统，其特征在于，所述立体视觉测量系统每一目的激光器输出波长均不相同，所述带通滤光片（10）的通带为其所对应的激光器输出波长的峰值范围。

4.根据权利要求1所述的多波长高分辨力立体视觉测量系统的多波长高分辨力立体视觉测量方法，其特征在于，所包括以下步骤：

步骤a、选择使用不同波长的激光器及对应的带通滤光片组成不同的单目测量装置从而 组成多波长高分辨力立体视觉测量系统；

步骤b、对每一目单目测量装置进行单目矫正；

步骤c、对整体立体视觉测量系统进行矫正；

步骤d、将三维物体放置在清晰成像处并对三维物体进行成像并计算形貌。