[发明专利]旋涂成型一体化装置在审
| 申请号： | 201811507174.1 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN109352888A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 陈虹宇;邵鹏飞;黄奎明;马灿臻;刘光丽;董二宝 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | B29C41/04 | 分类号： | B29C41/04;B29C41/46;B29C35/10 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋涂 点胶模块 基片移动 光固化 一体化装置 机械手 点胶针筒 光源模块 流水线式 移动导轨 旋涂机 点胶 下端 成型 正方体灯罩 光敏材料 加工流程 加工效率 进料管道 三爪卡盘 点胶机 放样 取样 自动化 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋涂成型一体化装置，其特征在于，包括旋涂机，所述旋涂机的一侧设有基片移动台和基片移动机械手，另一侧设有点胶模块，所述点胶模块上设有光源模块。
2.根据权利要求1所述的旋涂成型一体化装置，其特征在于，所述点胶模块包括点胶机，所述点胶机上设有移动导轨，所述移动导轨的下端设有点胶针筒，所述点胶针筒连接有进料管道。
3.根据权利要求2所述的旋涂成型一体化装置，其特征在于，所述光源模块包括光固化灯，所述光固化灯位于旋涂机上方的正方体灯罩中。
4.根据权利要求3所述的旋涂成型一体化装置，其特征在于，所述光固化灯包括紫外灯。
5.根据权利要求1至4任一项所述的旋涂成型一体化装置，其特征在于，所述基片移动机械手的下端设有三爪卡盘。
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