[发明专利]旋涂成型一体化装置

说明书

本发明公开了一种旋涂成型一体化装置，包括旋涂机，旋涂机的一侧设有基片移动台和基片移动机械手，另一侧设有点胶模块，点胶模块上设有光源模块。点胶模块包括点胶机，点胶机上设有移动导轨，移动导轨的下端设有点胶针筒，点胶针筒连接有进料管道。光源模块包括光固化灯，光固化灯位于旋涂机上方的正方体灯罩中。基片移动机械手的下端设有三爪卡盘。整体具有自动化和流水线式控制的特点，使放样、点胶、旋涂、光固化(特别对于光敏材料)、取样等加工流程能自动控制完成，实现旋涂样品的流水线式生产，提高加工效率和精度。

技术领域

本发明涉及一种快速成型加工设备，尤其涉及一种旋涂成型一体化装置。

背景技术

旋涂设备是一种将均匀薄膜平铺到平坦基板上的装置，通过在基板中部滴加液体材料，利用高速旋转的离心力使涂层材料扩散于基板上。这种设备主要加工对象为具有不同粘度的快速成型液体材料，最小生产精度达1um。

光敏树脂作为3D打印常用原材料之一，需要打印后使用特定波长的光源使其固化成型，其成型精度和尺寸取决于打印方法和光源特性。

常规旋涂设备需要人工进行基板定位、点胶、设置转速及时间、取样等工作，具有费时费力的缺点，且容易产生误差。特别对于光敏树脂作为旋涂材料时，旋涂完成后需要人工手持光源对样品进行照射，其距离、时间和照明均匀性难以控制。

在旋涂加工作为产品制造的一个环节时，与其它环节的连接性较差，大大降低了需要流水线式生产时的效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种旋涂成型一体化装置。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的旋涂成型一体化装置，包括旋涂机，所述旋涂机的一侧设有基片移动台和基片移动机械手，另一侧设有点胶模块，所述点胶模块上设有光源模块。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明实施例提供的旋涂成型一体化装置，使放样、点胶、旋涂、光固化(特别对于光敏材料)、取样等加工流程能自动控制完成，实现旋涂样品的流水线式生产，提高加工效率和精度。

附图说明

图1为本发明实施例提供的旋涂成型一体化装置结构示意图。

图2为本发明实施例的加工工艺流程示意图。

图中：

1：旋涂机；2：点胶针筒；3：点胶机；4：移动气缸；5：光固化灯罩(内含光固化灯)；6：基片移动机械手；7：基片移动台

具体实施方式

下面将对本发明实施例作进一步地详细描述。本发明实施例中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

本发明的旋涂成型一体化装置，其较佳的具体实施方式是：

包括旋涂机，所述旋涂机的一侧设有基片移动台和基片移动机械手，另一侧设有点胶模块，所述点胶模块上设有光源模块。

所述点胶模块包括点胶机，所述点胶机上设有移动导轨，所述移动导轨的下端设有点胶针筒，所述点胶针筒连接有进料管道。

所述光源模块包括光固化灯，所述光固化灯位于旋涂机上方的正方体灯罩中。

所述光固化灯包括但不限于紫外灯。

所述基片移动机械手的下端设有三爪卡盘。

本发明的旋涂成型一体化装置，装置整体具有自动化和流水线式控制的特点，使放样、点胶、旋涂、光固化(特别对于光敏材料)、取样等加工流程能自动控制完成，实现旋涂样品的流水线式生产，提高加工效率和精度。

具体实施例：