[发明专利]一种扫描致动器及光纤扫描器

权利要求书

1.一种扫描致动器，其特征在于，包括沿从后向前的方向依次连接的第一致动部、隔离部及第二致动部，所述第一致动部及所述第二致动部均包含压电材料以及与所述压电材料相配合的内电极和外电极，所述扫描致动器工作时，所述第一致动部沿第一方向振动，所述第二致动部沿第二方向振动，第一方向和第二方向均垂直于前后方向且相互不平行；

所述第一致动部和所述第二致动部中的至少一者的部分或全部外电极的作用位置可调。

2.如权利要求1所述的扫描致动器，其特征在于，所述第一致动部和所述第二致动部中的所述至少一者本体上设有用于带动外电极的滑动结构。

3.如权利要求2所述的扫描致动器，其特征在于，所述第一致动部和所述第二致动部中的所述至少一者采用片状堆叠结构，包括：基板以及堆叠于所述基板板面上的压电材料片，所述压电材料片与所述基板贴合的表面上布设有内电极；

在所述基板长度方向的侧面设有至少一条滑轨，至少一个滑动杆通过滑动部与所述滑轨配合连接，所述滑动杆上至少一端与外电极固定连接，并使得所述外电极与所述压电材料片不接触，在所述滑动杆上设有驱动器及安装于所述驱动器上的滚轮。

4.如权利要求3所述的扫描致动器，其特征在于，所述滑轨的侧壁上设有至少一条滑槽。

5.如权利要求4所述的扫描致动器，其特征在于，所述滑动部包括第一凸起及至少一个设于第一凸起侧壁上的第二凸起，所述第二凸起用以与所述滑槽配合连接。

6.如权利要求5所述的扫描致动器，其特征在于，所述驱动器固定于所述第一凸起或所述第二凸起上，使得所述滚轮的滚动面与所述滑轨内表面紧密接触。

7.如权利要求3所述的扫描致动器，其特征在于，所述滑轨的方向与所述扫描致动器用作光纤扫描器时光束的传播方向一致或呈设定度数的锐角。

8.如权利要求1所述的扫描致动器，其特征在于，所述扫描致动器外部设有封装壳，在所述封装壳内壁上设有用于带动外电极的滑动结构。

9.如权利要求8所述的扫描致动器，其特征在于，所述封装壳内壁上对位于所述压电材料的位置设有滑轨，所述第一致动部和所述第二致动部中的至少一者的外电极通过滑动部连接于所述滑轨中，且在所述外电极上设有驱动器及安装于所述驱动器上的滚轮。

10.如权利要求1所述的扫描致动器，其特征在于，所述第一致动部和所述第二致动部中的所述至少一者的外电极由包含多个子电极的阵列构成，每个所述子电极的通电状态相互独立，且紧密并列连接，每个所述子电极之间相互绝缘。

11.如权利要求1至10中任一所述的扫描致动器，其特征在于，所述第一致动部和所述第二致动部中的所述至少一者的压电材料外表还设有反馈部件。

12.一种光纤扫描器，其特征在于，包括光纤和前述权利要求1-11中任一所述的扫描致动器，所述光纤与所述扫描致动器固定连接，且所述光纤的前端超出所述扫描致动器形成光纤悬臂。