[发明专利]一种扫描致动器及光纤扫描器

说明书

本申请实施例公开了一种扫描致动器及光纤扫描器。扫描致动器中的不同致动部上的部分或全部外电极的作用位置可调，当外电极的作用位置进行变化时，扫描致动器的等效电路将发生变化，进一步引起谐振频率轻微变化，从而可以通过调整电极改变压电驱动器本身的谐振频率，达到补偿扫描器本身由于长时间工作温度、老化等原因造成的谐振频率变化，减小光纤悬臂摆幅的变化，配合驱动信号的调整，维持良好的显示性能。

技术领域

本申请涉及扫描显示技术领域，具体涉及一种扫描致动器及光纤扫描器。

背景技术

光纤扫描器由于其体积小，成本低，制造工艺简便以及容易集成等特点，适用于扫描显示领域。

在光纤扫描器中，扫描致动器(如：压电致动器、电磁致动器等)在电信号或电磁信号激励下弯曲振动，带动光纤振动，相应的光束通过光纤输出，从而实现扫描显示。

现有技术中，可通过调节驱动电压来改变扫描致动器的扫描频率和摆动幅度，以实现不同分辨率、不同尺寸图像的扫描显示。但在实际应用时，扫描致动器长时间处于高频摆动的工作状态，可能会造成元件温度上升，使扫描致动器自身谐振频率漂移，进一步导致光纤悬臂摆幅产生变化，从而影响扫描输出的图像质量。

发明内容

本申请的目的在于提供一种扫描致动器及光纤扫描器，用来解决扫描致动器在长时间工作过程中由于扫描器自身谐振频率漂移导致光纤悬臂摆幅变化的问题。

本申请实施例提供一种扫描致动器，包括：包括沿从后向前的方向依次连接的第一致动部、隔离部及第二致动部，所述第一致动部及所述第二致动部均包含压电材料以及与所述压电材料相配合的内电极和外电极，受所述内电极和外电极作用，所述第一致动部沿第一方向振动，所述第二致动部沿第二方向振动，第一方向和第二方向均垂直于前后方向且相互不平行；

所述第一致动部和所述第二致动部中的至少一者的部分或全部外电极的作用位置可调。

可选地，所述第一致动部和所述第二致动部中的至少一者本体上设有用于带动外电极的滑动结构。

可选地，所述第一致动部和所述第二致动部中的至少一者采用片状堆叠结构，包括：基板以及堆叠于所述基板板面上的压电材料片，所述压电材料片与所述基板贴合的表面上布设有内电极；

在所述基板长度方向的侧面设有至少一条滑轨，至少一个滑动杆通过滑动部与所述滑轨配合连接，所述滑动杆上至少一端与外电极固定连接，并使得所述外电极与所述压电材料片不接触，在所述滑动杆上设有驱动器及安装于所述驱动器上的滚轮。

可选地，所述滑动杆轴向垂直于所述滑轨。

可选地，所述滑轨的侧壁上设有至少一条滑槽。

可选地，所述滑动部包括第一凸起及至少一个设于第一凸起侧壁上的第二凸起，所述第二凸起与所述滑槽配合连接。

可选地，所述驱动器固定于所述第一凸起或所述第二凸起上，使得所述滚轮的滚动面与所述滑轨内表面紧密接触。

可选地，所述滑轨的方向与所述扫描致动器用作光纤扫描器时光束的传播方向一致或呈设定度数的锐角。

可选地，所述扫描致动器外部设有封装壳，在所述封装壳内壁上设有用于带动外电极的滑动结构。

可选地，所述封装壳内壁上对位于所述压电材料的位置设有滑轨，所述第一致动部和所述第二致动部中的至少一者的外电极通过滑动部连接于所述滑轨中，且在所述外电极上设有驱动器及安装于所述驱动器上的滚轮。

可选地，所述第一致动部和所述第二致动部中的至少一者的外电极由包含多个子电极的阵列构成，每个所述子电极的通电状态相互独立，且紧密并列连接，每个所述子电极之间相互绝缘。

可选地，所述第一致动部和所述第二致动部中至少一者的部分或全部外电极可移动。