[发明专利]外观检查装置以及外观检查装置的照明条件设定方法

权利要求书

1.一种外观检查装置，其特征在于，包括：

照明部，将照明光照射于被检查物；

摄像部，对所述被检查物进行拍摄；

缺陷检测部，对由所述摄像部所拍摄的所述被检查物的图像进行分析，检测所述被检查物的缺陷；

照明条件设定部，设定照射于所述被检查物的所述照明光的照明条件；以及

最优照明条件导出部，根据利用多个不同的所述照明条件所拍摄的图像对各照明条件进行评分，由此导出最优照明条件，所述最优照明条件为最适于所述缺陷检测部检测所述被检查物的缺陷的照明条件。

2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，包含照射于所述被检查物的照明光的方向、强度、颜色中的至少任一要素作为定义所述照明条件的要素。

3.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，所述最优照明条件导出部部进行：

第一搜索，从定义所述照明条件的各要素的所有组合中，选定多个固定了规定要素的值的第一搜索用照明条件并进行所述评分，从其中求出得分最好的暂时最优照明条件；以及

第二搜索，根据由所述第一搜索所得的暂时最优照明条件，推定真正最优照明条件可能存在的范围，于所述范围内在解除了所述规定要素的值为固定的照明条件下，进一步进行所述评分，求出真正最优照明条件；

由此而导出所述最优照明条件。

4.根据权利要求3所述的外观检查装置，其特征在于，所述第二搜索是使用二分搜索法进行。

5.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，所述最优照明条件导出部在所述被检查物为两个以上时，将由所述被检查物各自的差异所致的每个所述被检查物的最优照明条件的差异平准化，导出适于多个所述被检查物的检查的平准最优照明条件。

6.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，所述照明部包括：同轴落射照明部，以与所述摄像部的光轴相同的轴，将第一照明光照射于所述被检查物；以及周向照明部，从以所述轴为中心的同心圆状的周向，将第二照明光照射于所述被检查物。

7.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，还包括：检查区域确定部，确定由所述缺陷检测部进行缺陷检测的所述被检查物的区域。

8.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，所述照明条件设定部对照由所述最优照明条件导出部所导出的最优照明条件，自动设定照明条件。

9.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，将具有所述照明光不均匀地反射而产生光泽不均的表面的物品作为所述被检查物。

10.一种外观检查装置的照明条件的设定方法，其根据通过一面将照明光照射于被检查物一面对所述被检查物进行拍摄所得的图像来检测所述被检查物的缺陷，其特征在于，包括：

第一步骤，从定义所述照明条件的各要素的所有组合中，选定固定了规定要素的值的多个搜索用照明条件；

第二步骤，进行由所述第一步骤所设定的搜索用照明条件下的拍摄；

第三步骤，根据由所述第二步骤所得的图像对所述各搜索用照明条件进行评分；

第四步骤，进行所述第三步骤中经评分的各搜索用照明条件的比对，求出暂时最优照明条件；

第五步骤，根据所述第四步骤中求出的暂时最优照明条件，推定真正最优照明条件可能存在的范围，于所述范围内在解除了所述规定要素的值为固定的照明条件下，进一步进行所述评分，求出真正最优照明条件；以及

第六步骤，将所述第五步骤中求出的真正最优照明条件设定为外观检查的照明条件。