[发明专利]有机光电组件的连续式量产设备及有机光电组件的制造方法在审
申请号: | 201811509582.0 | 申请日: | 2018-12-11 |
公开(公告)号: | CN111312932A | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 颜丰文;张正澔 | 申请(专利权)人: | 机光科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 康艳青;姚开丽 |
地址: | 中国台湾新竹市科*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 光电 组件 连续 量产 设备 制造 方法 | ||
1.一种有机光电组件的连续式量产设备,其特征在于,包括:
图案化载具,承载基板,其中所述基板覆盖有第一电极层及接触电极层,且其中所述图案化载具遮蔽所述第一电极层及所述接触电极层的一部分;
第一腔体,用以在未被所述图案化载具遮蔽的所述第一电极层及所述接触电极层的另一部分上,形成有机层;以及
第二腔体,线性地排在所述第一腔体后方,用以在所述有机层上,形成第二电极层。
2.如权利要求1所述的有机光电组件的连续式量产设备,其中所述第一腔体是第一真空蒸镀腔体。
3.如权利要求2所述的有机光电组件的连续式量产设备,其中所述第二腔体是第二真空蒸镀腔体。
4.如权利要求1所述的有机光电组件的连续式量产设备,其中在形成所述第二电极层及形成所述有机层时,所述图案化载具皆可作为屏蔽,部分遮蔽所述第一电极层及所述接触电极层,故不需要更换其他屏蔽。
5.如权利要求1所述的有机光电组件的连续式量产设备,还包括第一真空通道,其中在所述有机层形成之后,所述基板可以通过所述第一真空通道,被输送至所述第二腔体,以形成所述第二电极层。
6.如权利要求5所述的有机光电组件的连续式量产设备,还包括第二真空通道,所述第二真空信道中设置有激光源,可用以形成电性连接件,电性连接所述第二电极层及所述接触电极层。
7.如权利要求5所述的有机光电组件的连续式量产设备,还包括第三腔体,线性地排在所述第二腔体后方,其中所述第三腔体中设置有激光源,可用以形成电性连接件,电性连接所述第二电极层及所述接触电极层。
8.如权利要求7所述的有机光电组件的连续式量产设备,其中所述第三腔体是第三真空蒸镀腔体。
9.一种有机光电组件的制造方法,其特征在于,包括:
提供覆盖有第一电极层及接触电极层的基板;
使用权利要求1至8中任一项所述的连续式量产设备,在所述第一电极层及所述接触电极层上,形成有机层;以及
在所述有机层上,形成所述第二电极层。
10.如权利要求9所述的有机光电组件的制造方法,还包括形成电性连接件,电性连接所述第二电极层及所述接触电极层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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