[发明专利]有机光电组件的连续式量产设备及有机光电组件的制造方法

说明书

一种有机光电组件的连续式量产设备，包括第一腔体、第二腔体、以及图案化载具。图案化载具承载基板，其中基板覆盖有第一电极层及接触电极层，且其中图案化载具可部分遮蔽第一电极层及接触电极层。第一腔体，是用以在未被图案化载具遮蔽的第一电极层及接触电极层上，形成有机层。第二腔体，线性地排在第一腔体后方，用以在有机层上，形成第二电极层。本发明的连续式量产设备可以避免外界污染，提高组件的量产质量与速度。此外，本发明的图案化载具既可以作为载具，也可以作为屏蔽，故不需要更换其他屏蔽，大幅降低制造工艺所需的时间，也避免更换屏蔽时可能造成的污染。

技术领域

本发明关于一种有机光电组件的连续式量产设备，以及关于一种有机光电组件的制造方法。

背景技术

诸如有机发光二极管(organic light emitting diode，OLED)的发光装置借由沉积有机材料及金属材料于基板上所制成。传统上，使用团簇式沉积设备来进行各种材料的沉积。如图1所示，团簇式沉积设备20包括机械手臂710及呈放射状设置于机械手臂710周围的多个真空腔体720。机械手臂710配置以将基板放入真空腔体720中进行各种材料的沉积以制成发光装置。

然而，使用此种团簇式沉积设备20来进行各种材料的沉积是耗时且高成本的。原因在于，当基板被放入真空腔体720中进行各种材料的沉积时，须更换真空腔体720中的沉积材料及对应的屏蔽。此外，必须等到各种材料沉积于基板上后，始得将其移出并放入下一个基板。因此，开发出一种可有效减少发光装置的制造工时及生产成本的设备，为各方所研究的课题。

发明内容

本发明提供一种有机光电组件的连续式量产设备，包括第一腔体、第二腔体、以及图案化载具。图案化载具承载基板，其中基板覆盖有第一电极层及接触电极层，且其中图案化载具可部分遮蔽第一电极层及接触电极层。第一腔体，是用以在未被图案化载具遮蔽的第一电极层及接触电极层上，形成有机层。第二腔体，线性地排在第一腔体后方，用以在有机层上，形成第二电极层。

在本发明的实施方式中，第一腔体可以是第一真空蒸镀腔体。第二腔体，也可以是第二真空蒸镀腔体。

在本发明的实施方式中，在形成第二电极层及形成有机层时，图案化载具皆可作为屏蔽，部分遮蔽第一电极层及接触电极层，故不需要更换其他屏蔽。

在本发明的实施方式中，本发明连续式量产设备可还包括第一真空通道，其中在有机层形成之后，基板可以通过第一真空通道，被输送至第二腔体，以形成第二电极层。

在本发明的实施方式中，本发明连续式量产设备可还包括第二真空信道，第二真空信道中设置有激光源，可用以形成电性连接件，电性连接第二电极层及接触电极层。

在本发明的实施方式中，本发明连续式量产设备可还包括第三腔体，线性地排在第二腔体后方，其中第三腔体中设置有激光源，可用以形成电性连接件，电性连接第二电极层及接触电极层。第三腔体，可以是第三真空蒸镀腔体。

本发明另提供一种有机光电组件的制造方法，包括提供覆盖有第一电极层及接触电极层的基板；使用前述的连续式量产设备，在第一电极层及接触电极层上，形成有机层；以及在有机层上，形成第二电极层。本发明的制造方法可还包括形成电性连接件，电性连接第二电极层及接触电极层。

以下将以实施方式对上述说明作详细的描述，并对本发明的技术方案提供更进一步的解释。

附图说明

图1为传统的团簇式沉积设备的俯视示意图。

图2为本发明第一实施方式的有机光电组件的连续式量产设备的剖面示意图。

图3为本发明第二实施方式的有机光电组件的连续式量产设备的剖面示意图。

图4为本发明第三实施方式的有机光电组件的连续式量产设备的剖面示意图。