[发明专利]图像检查装置

权利要求书

1.一种图像检查装置，使用拍摄图像来检查对象物，所述图像检查装置包括：

多个拍摄部，拍摄所述对象物；

照明部，配置在所述对象物与所述多个拍摄部之间，构成为向朝着所述对象物的方向照射光，并且具有透光性；以及

控制部，控制所述多个拍摄部及所述照明部，

所述照明部包含多个照明单元，所述多个照明单元配置成矩阵状，且可独立地点亮，

所述控制部控制所述多个照明单元的点亮及熄灭，以控制所述光的照射位置，由此，使所述照明部对与所述多个拍摄部的视野对应的所述对象物的区域进行照明，以使所述多个拍摄部拍摄所述对象物，

所述控制部通过对所述多个照明单元的点亮及熄灭进行分时控制，从而从所述照明部对所述对象物照射第1照射图形的光，接下来，从所述照明部对所述对象物照射第2照射图形的光，

所述控制部在将所述第1照射图形的光照射至所述对象物时，使所述多个拍摄部中的第1拍摄部拍摄所述对象物而获取第1图像数据，在将所述第2照射图形的光照射至所述对象物时，使所述多个拍摄部中的第2拍摄部拍摄所述对象物而获取第2图像数据。

2.根据权利要求1所述的图像检查装置，

所述控制部使用至少包含所述第1图像数据及所述第2图像数据的多个图像数据，来执行关于所述对象物的图像测量处理，

所述第1图像数据关联于所述第1拍摄部的拍摄视野内的第1目标位置，

所述第2图像数据关联于所述第2拍摄部的拍摄视野内的第2目标位置，

所述第1照射图形是根据所述第1目标位置而决定，

所述第2照射图形是根据所述第2目标位置而决定。

3.根据权利要求2所述的图像检查装置，

所述第1照射图形及所述第2照射图形被决定为，从所述照明部向所述第1目标位置照射的光的入射方向与从所述照明部向所述第2目标位置照射的光的入射方向实质上相同。

4.根据权利要求2或3所述的图像检查装置，

所述控制部依序变更从所述照明部对所述对象物照射的光的照射图形，并且，对应于所述照射图形的依序变更，而使所述多个拍摄部依序拍摄所述对象物。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的图像检查装置，

所述多个拍摄部的各个包含读出电路，所述读出电路从将拍摄视野内所含的光转换为图像信号的多个受光元件中的一部分受光元件读出所述图像信号。

6.根据权利要求5所述的图像检查装置，

从所述多个受光元件中的一部分即第1受光元件读出图像信号的处理的至少一部分、与在从所述照明部照射有光的状态下使所述多个受光元件中的一部分即第2受光元件曝光的处理的至少一部分是同时执行。

7.根据权利要求1所述的图像检查装置，

所述照明部包括：

多个发光部，排列成矩阵状，且构成为可选择性地发光；以及

光学系统，构成为，将从所述多个发光部各自发出的所述光的照射方向控制为与各所述多个发光部的位置对应的方向。

8.根据权利要求7所述的图像检查装置，

所述光学系统包含多个微透镜，所述多个微透镜是与所述多个发光部分别相向地设置。

9.根据权利要求8所述的图像检查装置，

所述多个微透镜被配置成，所述多个微透镜中的至少一部分微透镜的光轴与跟所述至少一部分微透镜相向的发光部的光轴偏离。

10.根据权利要求9所述的图像检查装置，

在所述多个照明单元中的至少一个照明单元中，所述至少一部分微透镜以比所述发光部的间距小的间距而配置。

11.根据权利要求8所述的图像检查装置，

所述多个微透镜被配置成，所述多个微透镜中的至少一部分微透镜的光轴相对于跟所述至少一部分微透镜相向的发光部的光轴而倾斜。