[发明专利]一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置在审
| 申请号： | 201811521859.1 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109628904A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 朱蓓蓓;兰洁;申振丰;许剑锋;陈肖;郭凌曦;程辉;袁超;孙晴晗 | 申请（专利权）人： | 上海航天控制技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 圣冬冬 |
| 地址： | 201109 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半球谐振 陀螺 自转 摆动 摆动电机 镀膜空间 公转电机 运动装置 自转电机 卡具 齿条驱动齿轮 镀膜均匀性 钢丝绳 仰角 镀膜过程 方向独立 公转运动 公转轴系 上下移动 生产效率 向上摆动 向下摆动 旋转转换 摆动轴 公转盘 全表面 一次性 中空间 自转轴 拨叉 成膜 镀膜 可调 停顿 合格率 | ||
【权利要求书】：
1.一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，其特征在于该装置包含公转系统、自转系统、摆动系统和真空室；
所述公转系统包括，公转电机，所述公转电机通过公转轴系与公转盘相连实现公转运动；
所述自传系统包括，自传电机，所述自转电机通过自转轴系与卡具相连，通过弹力钢丝绳实现全角度自转运动；
所述摆动系统包括，摆动电机，所述摆动电机通过摆动轴系将旋转转换成上下移动实现工件摆动；
所述真空室内设置有工件固定装置，所述真空室内的工件固定装置通过传动杆与所述公转系统、所述自传系统和所述摆动系统连接。
2.如权利要求1所述的一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，其特征在于，所述自传系统的自转速度可调并可独立控制。
3.如权利要求1所述的一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，其特征在于，所述摆动电机通过拨叉带动齿条驱动齿轮，将旋转转换成工件摆动。
4.如权利要求1所述的一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置，其特征在于，所述传动杆与所述真空室的连接处安装动密封装置。
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