[发明专利]一种装饰类金刚石薄膜的调色方法有效

专利信息
申请号: 201811524484.4 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN109594058B 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 唐智 申请(专利权)人: 纳峰真空镀膜(上海)有限公司
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;C23C16/26
代理公司: 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 代理人: 卢艳民
地址: 201700 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 装饰 金刚石 薄膜 调色 方法
【权利要求书】:

1.一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,包括基材、TAC薄膜层、着色层,其特征在于:具体步骤如下:

S1:对基材表面进行超声波清洗;所述的基材为不锈钢;

S2:将基材放入镀膜腔体中,将腔体抽真空至1.5x10-5 Torr;

S3:对基材表面进行离子刻蚀,用磁控溅射,沉积金属层,靶材为Ti,膜厚0.4μm;然后使用FCVA镀膜技术,在基材的表面镀一层TAC薄膜层,靶材为石墨,膜厚1.0μm;所述的TAC薄膜层为非晶四面体碳薄膜;

S4:将腔体抽真空至1.0x10-5 Torr,并充入C2H2气体,使真空腔体内的真空达到5.0x10-4Torr,然后使用FCVA镀膜技术,靶材为石墨,开始沉积类金刚石薄膜,对TAC薄膜层的表面进行着色层镀膜,膜厚50nm;所述的C2H2气体为乙炔气体,在FCVA镀膜过程中,通入不同量的C2H2气体以得到不同性质的类金刚石薄膜,达到调色的目的;

可得到的颜色范围如下:L值:最大55,最小38;a值:最大+0.8,最小-1.0;b值:最大2.0,最小-4 .0;L,a,b是表示颜色的三个量,L表示亮度,越大越亮,越小越暗,范围是0-100;a是表示红或绿,正是红,负是绿;b是表示黄或蓝,正是黄,负是蓝。

2.根据权利要求1所述的一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,其特征在于:所述的镀膜工艺为FCVA镀膜工艺,即过滤阴极真空电弧镀膜技术。

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