[发明专利]一种装饰类金刚石薄膜的调色方法有效
申请号: | 201811524484.4 | 申请日: | 2018-12-13 |
公开(公告)号: | CN109594058B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 唐智 | 申请(专利权)人: | 纳峰真空镀膜(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/26 |
代理公司: | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人: | 卢艳民 |
地址: | 201700 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装饰 金刚石 薄膜 调色 方法 | ||
1.一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,包括基材、TAC薄膜层、着色层,其特征在于:具体步骤如下:
S1:对基材表面进行超声波清洗;所述的基材为不锈钢;
S2:将基材放入镀膜腔体中,将腔体抽真空至1.5x10-5 Torr;
S3:对基材表面进行离子刻蚀,用磁控溅射,沉积金属层,靶材为Ti,膜厚0.4μm;然后使用FCVA镀膜技术,在基材的表面镀一层TAC薄膜层,靶材为石墨,膜厚1.0μm;所述的TAC薄膜层为非晶四面体碳薄膜;
S4:将腔体抽真空至1.0x10-5 Torr,并充入C2H2气体,使真空腔体内的真空达到5.0x10-4Torr,然后使用FCVA镀膜技术,靶材为石墨,开始沉积类金刚石薄膜,对TAC薄膜层的表面进行着色层镀膜,膜厚50nm;所述的C2H2气体为乙炔气体,在FCVA镀膜过程中,通入不同量的C2H2气体以得到不同性质的类金刚石薄膜,达到调色的目的;
可得到的颜色范围如下:L值:最大55,最小38;a值:最大+0.8,最小-1.0;b值:最大2.0,最小-4 .0;L,a,b是表示颜色的三个量,L表示亮度,越大越亮,越小越暗,范围是0-100;a是表示红或绿,正是红,负是绿;b是表示黄或蓝,正是黄,负是蓝。
2.根据权利要求1所述的一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,其特征在于:所述的镀膜工艺为FCVA镀膜工艺,即过滤阴极真空电弧镀膜技术。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于纳峰真空镀膜(上海)有限公司,未经纳峰真空镀膜(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811524484.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的