[发明专利]一种装饰类金刚石薄膜的调色方法有效

专利信息
申请号: 201811524484.4 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN109594058B 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 唐智 申请(专利权)人: 纳峰真空镀膜(上海)有限公司
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;C23C16/26
代理公司: 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 代理人: 卢艳民
地址: 201700 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 装饰 金刚石 薄膜 调色 方法
【说明书】:

发明涉及镀膜技术领域,具体地说是一种装饰类金刚石薄膜的调色方法。一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,包括基材、TAC薄膜层、着色层,其特征在于:具体步骤如下:S1:对基材表面进行超声波清洗;S2:将基材放入镀膜腔体中,将腔体抽真空至1.5x10‑5 Torr;S3:对基材表面进行离子刻蚀,在基材的表面镀一层TAC薄膜层;S4:将腔体抽真空至1.0x10‑5 Torr,并充入C2H2气体,对TAC薄膜层的表面进行着色层镀膜。同现有技术相比,在利用FAVA镀膜时引入C2H2气体,可以改变膜层颜色,使膜层外观具备更多的选择性,这对于装饰镀而言,会显著提升应用范围;引入C2H2,可以提升膜层的沉积速率,尤其是对于FCVA‑C膜,镀膜效率会显著提升。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域,具体地说是一种装饰类金刚石薄膜的调色方法。

背景技术

FCVA(过滤阴极真空电弧技术)技术就是属于电弧离子镀领域的一种改良版镀膜技术。该技术通过弯管过滤以及高能电、磁场过滤除去蒸发产生大颗粒,使沉积到基片表面的膜层具备常规溅射涂层的细腻光滑的优点,同时又具备高硬度、优异的附着力及膜层致密性等常规溅射所不具备的优势。

DLC(类金刚石薄膜)是一类高硬度和耐磨的功能性涂层,常用于如刀具、模具、汽车零部件等摩擦磨损要求较高的场合。常规的DLC薄膜是使用CVD(如PECVD等)方式,用C2H2、CH4等气体进行沉积,因镀膜温度较高(大于200℃),颜色固定(L值约为48,a值接近0,b值大于0,视觉效果偏黄)。因此对于很多的装饰膜并不适用。

而使用FCVA镀膜方式进行沉积的tac薄膜,膜层中不含氢。虽然镀膜温度较低,但由于颜色固定(L值约为53,a值接近0,b值大于0),因此在装饰方面的应用也很受局限。

发明内容

本发明为克服现有技术的不足,提供一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,在利用FAVA镀膜时引入C2H2气体,可以改变膜层颜色,使膜层外观具备更多的选择性,这对于装饰镀而言,会显著提升应用范围。

为实现上述目的,设计一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,包括基材、TAC薄膜层、着色层,其特征在于:具体步骤如下:

S1:对基材表面进行超声波清洗;

S2:将基材放入镀膜腔体中,将腔体抽真空至1.5x10-5Torr;

S3:对基材表面进行离子刻蚀,在基材的表面镀一层TAC薄膜层;

S4:将腔体抽真空至1.0x10-5Torr,并充入C2H2气体,对TAC薄膜层的表面进行着色层镀膜。

所述的步骤S4中,充入C2H2气体,使真空腔体内的真空达到5.0x10-4Torr左右,然后使用FCVA镀膜技术开始沉积类金刚石薄膜。

所述的基材为不锈钢等金属基材。

所述的TAC薄膜层为非晶四面体碳薄膜。

所述的C2H2气体为乙炔气体,在FCVA镀膜过程中,通入C2H2气体以得到不同性质的类金刚石薄膜,达到调色的目的。

所述的镀膜工艺为FCVA镀膜工艺,即过滤阴极真空电弧镀膜技术。

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