[发明专利]一种装饰类金刚石薄膜的调色方法有效
申请号: | 201811524484.4 | 申请日: | 2018-12-13 |
公开(公告)号: | CN109594058B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 唐智 | 申请(专利权)人: | 纳峰真空镀膜(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/26 |
代理公司: | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人: | 卢艳民 |
地址: | 201700 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装饰 金刚石 薄膜 调色 方法 | ||
本发明涉及镀膜技术领域,具体地说是一种装饰类金刚石薄膜的调色方法。一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,包括基材、TAC薄膜层、着色层,其特征在于:具体步骤如下:S1:对基材表面进行超声波清洗;S2:将基材放入镀膜腔体中,将腔体抽真空至1.5x10‑5 Torr;S3:对基材表面进行离子刻蚀,在基材的表面镀一层TAC薄膜层;S4:将腔体抽真空至1.0x10‑5 Torr,并充入C2H2气体,对TAC薄膜层的表面进行着色层镀膜。同现有技术相比,在利用FAVA镀膜时引入C2H2气体,可以改变膜层颜色,使膜层外观具备更多的选择性,这对于装饰镀而言,会显著提升应用范围;引入C2H2,可以提升膜层的沉积速率,尤其是对于FCVA‑C膜,镀膜效率会显著提升。
技术领域
本发明涉及镀膜技术领域,具体地说是一种装饰类金刚石薄膜的调色方法。
背景技术
FCVA(过滤阴极真空电弧技术)技术就是属于电弧离子镀领域的一种改良版镀膜技术。该技术通过弯管过滤以及高能电、磁场过滤除去蒸发产生大颗粒,使沉积到基片表面的膜层具备常规溅射涂层的细腻光滑的优点,同时又具备高硬度、优异的附着力及膜层致密性等常规溅射所不具备的优势。
DLC(类金刚石薄膜)是一类高硬度和耐磨的功能性涂层,常用于如刀具、模具、汽车零部件等摩擦磨损要求较高的场合。常规的DLC薄膜是使用CVD(如PECVD等)方式,用C2H2、CH4等气体进行沉积,因镀膜温度较高(大于200℃),颜色固定(L值约为48,a值接近0,b值大于0,视觉效果偏黄)。因此对于很多的装饰膜并不适用。
而使用FCVA镀膜方式进行沉积的tac薄膜,膜层中不含氢。虽然镀膜温度较低,但由于颜色固定(L值约为53,a值接近0,b值大于0),因此在装饰方面的应用也很受局限。
发明内容
本发明为克服现有技术的不足,提供一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,在利用FAVA镀膜时引入C2H2气体,可以改变膜层颜色,使膜层外观具备更多的选择性,这对于装饰镀而言,会显著提升应用范围。
为实现上述目的,设计一种装饰类金刚石薄膜的调色方法,包括基材、TAC薄膜层、着色层,其特征在于:具体步骤如下:
S1:对基材表面进行超声波清洗;
S2:将基材放入镀膜腔体中,将腔体抽真空至1.5x10-5Torr;
S3:对基材表面进行离子刻蚀,在基材的表面镀一层TAC薄膜层;
S4:将腔体抽真空至1.0x10-5Torr,并充入C2H2气体,对TAC薄膜层的表面进行着色层镀膜。
所述的步骤S4中,充入C2H2气体,使真空腔体内的真空达到5.0x10-4Torr左右,然后使用FCVA镀膜技术开始沉积类金刚石薄膜。
所述的基材为不锈钢等金属基材。
所述的TAC薄膜层为非晶四面体碳薄膜。
所述的C2H2气体为乙炔气体,在FCVA镀膜过程中,通入C2H2气体以得到不同性质的类金刚石薄膜,达到调色的目的。
所述的镀膜工艺为FCVA镀膜工艺,即过滤阴极真空电弧镀膜技术。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的