[发明专利]一种基于空穴调整层的发光二极管在审
申请号: | 201811525624.X | 申请日: | 2018-12-13 |
公开(公告)号: | CN111326622A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 李建华;李全杰;刘向英 | 申请(专利权)人: | 西安智盛锐芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/04;H01L33/06;H01L33/14 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 毋雪 |
地址: | 710075 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 空穴 调整 发光二极管 | ||
本发明涉及一种基于空穴调整层的发光二极管,包括衬底层;缓冲层,位于衬底层上;低温氮化镓层,位于缓冲层上;非故意掺杂氮化镓层,位于低温氮化镓层上;超晶格层,位于非故意掺杂氮化镓层上;N型半导体层,位于超晶格层上;N型掺杂层,位于N型半导体层上;量子阱发光层,位于N型掺杂层上;电子阻挡层,位于量子阱发光层上;空穴调整层包括依次层叠于电子阻挡层上的第一非掺杂层、第二非掺杂层和P型掺杂层;P型半导体层,位于空穴调整层上。本发明的发光二极管能够提高了发光二极管的发光质量。并能够改善空穴迁移至量子阱发光层的空穴浓度,从改善发光二极管的发光效率。
技术领域
本发明涉及发光元件技术领域,特别是涉及一种基于空穴调整层的发光二极管。
背景技术
LED(Light Emitting Diode,发光二极管)作为信息光电子新兴产业中极具影响力的新产品,具有体积小、使用寿命长、颜色丰富多彩、能耗低等特点,广泛应用于照明、显示屏、信号灯、背光源、玩具等领域。
目前,发光二极管一般包括衬底层、缓冲层、N型半导体层、多量子阱发光层、P型半导体层。其中,N型半导体层用于提供电子;P型半导体层用于提供空穴,当有电流通过时,N型半导体层提供的电子和P型半导体层提供的空穴进入多量子阱发光层复合发光。
但是,目前的发光二极管还存在缺陷多等问题,发光质量还需进一步提高,以免影响进入高端应用市场;由于电子的移动能力远远高于空穴,导致在多量子阱发光层中的电子浓度远远高于空穴的浓度,从而影响发光二极管的发光效率。
发明内容
因此,为解决现有技术存在的技术缺陷和不足,本发明提出一种基于空穴调整层的发光二极管。
具体地,本发明一个实施例提出的一种基于空穴调整层的发光二极管,包括:
衬底层;
缓冲层,位于所述衬底层上;
低温氮化镓层,位于所述缓冲层上;
非故意掺杂氮化镓层,位于所述低温氮化镓层上;
超晶格层,位于所述非故意掺杂氮化镓层上;
N型半导体层,位于所述超晶格层上;
N型掺杂层,位于所述N型半导体层上;
量子阱发光层,位于所述N型掺杂层上;
电子阻挡层,位于所述量子阱发光层上;
空穴调整层,位于所述电子阻挡层上,所述空穴调整层包括依次层叠于电子阻挡层上的第一非掺杂层、第二非掺杂层和P型掺杂层;
P型半导体层,位于所述空穴调整层上。
在本发明的一个实施例中,所述低温氮化镓层的厚度为20-60nm。
在本发明的一个实施例中,所述非故意掺杂氮化镓层的厚度为50-100nm。
在本发明的一个实施例中,所述超晶格层为氮化铝镓超晶格层。
在本发明的一个实施例中,所述超晶格层的厚度为50-100nm。
在本发明的一个实施例中,所述N型半导体层为AlGaN层。
在本发明的一个实施例中,所述第一非掺杂层为非掺杂的GaN层。
在本发明的一个实施例中,所述第二非掺杂层为非掺杂的AlGaN层。
在本发明的一个实施例中,所述P型掺杂层为P型InGaP层。
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