[发明专利]黄光对准系统、光刻机及其对准方法

权利要求书

1.一种黄光对准系统，所述对准系统设置在可移动的基板台面上方，所述基板台面用于承载PCB板，其特征在于：所述对准系统包括安装在龙门上的固定对准组件和移动对准组件，所述固定对准组件包括固定在所述龙门上的固定对准相机，所述固定对准相机的镜头朝下设置，所述固定对准组件还包括固定在所述龙门上的照明光源，所述照明光源为黄光光源，所述移动对准组件包括沿所述龙门设置的滑轨，所述滑轨上设置有能够沿所述滑轨移动的移动对准相机，所述移动对准相机的镜头朝下设置，所述固定对准相机与所述移动对准相机配合抓取PCB板上的对位点。

2.根据权利要求1所述的一种黄光对准系统，其特征在于：所述固定对准相机与所述照明光源一体安装。

3.根据权利要求1所述的一种黄光对准系统，其特征在于：所述照明光源采用黄光小灯珠。

4.一种光刻机，包括底座和设置在所述底座上的多轴运动平台，所述多轴运动平台上安装有基板台面，PCB板设置在所述基板台面上，所述多轴运动平台能够带动PCB板在三维空间中运动，所述底座上设置有龙门，其特征在于：所述龙门上安装有权利要求1所述的对准系统，所述龙门上还安装有曝光系统。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机，其特征在于：所述多轴运动平台包括y轴运动组件、x轴运动组件、z轴运动组件以及θ轴运动组件，所述y轴运动组件设置在底座上，所述x轴运动组件设置在y轴运动组件上，所述z轴运动组件和所述θ轴运动组件一体设置固定在x轴运动组件上，所述基板台面设置在呈一体设置的z轴和θ轴运动组件上，所述X轴运动组件和y轴运动组件配合能够使得所述基板台面在平行于所述底座的平面内移动，所述z轴运动组件能够使得所述基板台面上的PCB板运动到曝光和对位的焦面，所述θ轴运动组件能够实现所述基板台面上的PCB板的旋转。

6.根据权利要求4所述的一种光刻机，其特征在于：所述基板台面上安装有吸盘。

7.根据权利要求4所述的一种光刻机，其特征在于：所述曝光系统包括曝光镜头。

8.根据权利要求4所述的一种光刻机，其特征在于：所述底座为大理石底座。

9.根据权利要求4所述的一种光刻机，其特征在于：所述基板台面的一侧还设置有定位标尺，所述PCB通过所述定位标尺定位置于所述基板台面上。

10.一种权利要求4至权利要求9任一项所述的光刻机的对准方法，其特征在于,包括以下步骤：通过多轴运动平台将承载有PCB板的基板台面移动到对准系统下方；开启照明光源使用黄光照射PCB板，使得PCB板上的对位点在黄光光源照射下显现；通过固定对位相机抓取PCB板左上角的对位点，对位相机移动抓取X轴方向上的其他对位点，多轴运动平台在Y轴方向运动，固定相机再抓取Y轴方向上的其他对位点，通过抓取至少3个不在一条直线上的对位点完成对PCB的定位。