[发明专利]黄光对准系统、光刻机及其对准方法

说明书

本发明提供了一种黄光对准系统，在黄光对准系统的使用下，对位点在对位相机抓取的图像中显示清晰，能够准确得到的对位点的位置，对准系统设置在可移动的基板台面上方，基板台面用于承载PCB板，对准系统包括安装在龙门上的固定对准组件和移动对准组件，固定对准组件包括固定在龙门上的固定对准相机，固定对准相机的镜头朝下设置，固定对准组件还包括固定在龙门上的照明光源，照明光源为黄光光源，移动对准组件包括沿龙门设置的滑轨，滑轨上设置有能够沿滑轨移动的移动对准相机，移动对准相机的镜头朝下设置，固定对准相机与移动对准相机配合抓取PCB板上的对位点，同时本发明还提供了使用该黄光对准系统的光刻机以及对准方法。

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，具体涉及黄光对准系统、光刻机及其对准方法。

背景技术

光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图。这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片。直写光刻技术以替代传统的掩膜版或菲林底片等曝光的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域有着非常重要的作用。

PCB板感光膜面朝下放在台面上，利用台面下方的激光器照射烧点，烧出的点定义为对位点，通过对位点的对位使得曝光系统能够准备得在PCB板上进行曝光，现有技术中，直写式光刻机的对准系统通常采用红光系统照射对位点，使得对位点显示出来使得对位相机能够抓取对位点，然而实际使用中发现在红光系统照射对位点的情况下，对位点和PCB板的环境颜色的对比度较低，对位点在对位相机抓取的图像中显示不清晰，无法准确得到的对位点的位置。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种黄光对准系统，在黄光对准系统的使用下，对位点在对位相机抓取的图像中显示清晰，能够准确得到的对位点的位置，同时本发明还提供了使用该黄光对准系统的光刻机以及对准方法。

其技术方案是这样的：一种黄光对准系统，所述对准系统设置在可移动的基板台面上方，所述基板台面用于承载PCB板，其特征在于：所述对准系统包括安装在龙门上的固定对准组件和移动对准组件，所述固定对准组件包括固定在所述龙门上的固定对准相机，所述固定对准相机的镜头朝下设置，所述固定对准组件还包括固定在所述龙门上的照明光源，所述照明光源为黄光光源，所述移动对准组件包括沿所述龙门设置的滑轨，所述滑轨上设置有能够沿所述滑轨移动的移动对准相机，所述移动对准相机的镜头朝下设置，所述固定对准相机与所述移动对准相机配合抓取PCB板上的对位点。

进一步的，所述固定对准相机与所述照明光源一体安装。

进一步的，所述照明光源采用黄光小灯珠。

一种光刻机，包括底座和设置在所述底座上的多轴运动平台，所述多轴运动平台上安装有基板台面，PCB板设置在所述基板台面上，所述多轴运动平台能够带动PCB板在三维空间中运动，所述底座上设置有龙门，其特征在于：所述龙门上安装有权利要求1所述的对准系统，所述龙门上还安装有曝光系统。

进一步的，所述多轴运动平台包括y轴运动组件、x轴运动组件、z轴运动组件以及θ轴运动组件，所述y轴运动组件设置在底座上，所述x轴运动组件设置在y轴运动组件上，所述z轴运动组件和所述θ轴运动组件一体设置固定在x轴运动组件上，所述基板台面设置在呈一体设置的z轴和θ轴运动组件上，所述X轴运动组件和y轴运动组件配合能够使得所述基板台面在平行于所述底座的平面内移动，所述z轴运动组件能够使得所述基板台面上的PCB板运动到曝光和对位的焦面，所述θ轴运动组件能够实现所述基板台面上的PCB板的旋转。

进一步的，所述基板台面上安装有吸盘。

进一步的，所述曝光系统包括曝光镜头。

进一步的，所述底座为大理石底座。

进一步的，所述基板台面的一侧还设置有定位标尺，所述PCB通过所述定位标尺定位置于所述基板台面上。