[发明专利]等离子体淀积炉的反应室结构

权利要求书

1.一种等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，包括：

内层石英管（1），其内部为用于盛装反应气体的反应腔（1）；

外层石英管（3），其套在所述内层石英管（1）外并与所述内层石英管（1）同轴，所述外层石英管（2）与所述内层石英管（1）之间具有间距；

用于将所述反应气体电离产生碳原子的电感线圈（3），其缠绕在所述内层石英管（1）上，且所述电感线圈（3）沿所述内层石英管（1）的轴向延伸，所述电感线圈（3）与射频电源连接。

2.根据权利要求1所述的等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，所述电感线圈（3）安装在一支架（28）上，所述支架（28）套在内层石英管（1）上。

3.根据权利要求2所述的等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，所述支架（28）包括两个环形固定板（281）和设在所述两个环形固定板（281）之间的多个绝缘支撑杆（282），所述多个绝缘支撑杆（282）相互平行且每个绝缘支撑杆（282）均沿内层石英管（1）的轴向延伸，电感线圈（3）固定在多个绝缘支撑杆（282）之间。

4.根据权利要求3所述的等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，所述支架（28）还包括多个连接杆（283），连接杆（283）与绝缘支撑杆（282）数量相等，一个连接杆（283）穿设在一个绝缘支撑杆（282）和所述两个环形固定板（281）中将所述一个绝缘支撑杆（282）与两个环形固定板（281）连接。

5.根据权利要求3所述的等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，每个绝缘支撑杆（282）上沿其轴向间隔设有多个限位凹槽（2821），所述电感线圈（3）的一匝线圈置于一个限位凹槽（2821）内。

6.根据权利要求1所述的等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，所述电感线圈（3）包括主体段（301）和分别设于所述主体段（301）两端的两个延伸段，所述主体段（301）缠绕在内层石英管（1）上，两个延伸段朝相反的方向延伸，每个延伸段上都设有与电极块，其中一个延伸段上的电极块与射频电源连接，另一个延伸段上的电极块接地。

7.根据权利要求1所述的等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，所述电感线圈（3）为空心结构，所述电感线圈（3）的内部走去离子水。

8.根据权利要求1所述的等离子体淀积炉的反应室结构，其特征在于，所述内层石英管（1）的轴向一端设有环形进气管（19），所述环形进气管（19）上沿其轴向均匀间隔设有多个与反应腔（1）连通的进气孔（191）。