[发明专利]等离子体淀积炉的反应室结构

说明书

本发明公开了提供一种等离子体淀积炉的反应室结构，包括：内层石英管，其内部为用于盛装反应气体的反应腔；外层石英管，其套在内层石英管外并与所述内层石英管同轴，外层石英管与所述内层石英管之间具有间距；用于将反应气体电离产生碳原子的电感线圈，其缠绕在内层石英管上，且电感线圈沿内层石英管的轴向延伸，电感线圈与射频电源连接。本发明电感线圈通入射频电源后，电感线圈将反应腔内的反应气体电离产生碳原子，这样碳原子会一层一层的落在铜箔或铝箔上，而碳原子与碳原子之间会通过化学键联接在一起，从而在铜箔或铝箔上生长出石墨烯，这样石墨烯具有特定的结构，更有利于锂离子电池的储能，从而使该锂离子电池具有更高的能量密度。

技术领域

本发明涉及等离子体淀积炉设备技术领域，更具体地说是涉及一种等离子体淀积炉的反应室结构。

背景技术

目前，随着电动汽车、电动单车的大量应用，以及光伏发电、风力发电的大量推广，对电的储能装置需求越来越多，而锂离子电池是其中不错的选择。锂离子电池主要由正极片、负极片和隔膜组成，而其中的负极片是由铜箔或铝箔及其上的石墨组成。当前，负极片的生产是由涂布机来完成的，大致工艺是由石墨、粘结剂、稀释剂和助剂制成浆料，铜箔或铝箔以卷料的形式放入涂布机，开卷后，通过辊筒印刷的形式在铜箔或铝箔的表面涂覆上石墨浆料，再经过烘干固化，最后分条形成所需的宽度尺寸的负极片。但是通过涂布机来生产负极片时，铜箔或铝箔上的石墨仅仅是石墨固体小颗粒的堆砌，不利于锂离子电池的储能，从而锂离子电池能量密度比较低。

发明内容

为解决现有通过涂布机来生产负极片而导致锂离子电池能量密度比较低的问题，本发明提供一种等离子体淀积炉的反应室结构，用于生产负极片，使得锂离子电池具有更高的能量密度。

本发明的技术方案为：提供一种等离子体淀积炉的反应室结构，包括：

内层石英管，其内部为用于盛装反应气体的反应腔；

外层石英管，其套在所述内层石英管外并与所述内层石英管同轴，所述外层石英管与所述内层石英管之间具有间距；

用于将所述反应气体电离产生碳原子的电感线圈，其缠绕在所述内层石英管上，且所述电感线圈沿所述内层石英管的轴向延伸，所述电感线圈与射频电源连接。

所述电感线圈安装在一支架上，所述支架套在内层石英管上。

所述支架包括两个环形固定板和设在所述两个环形固定板之间的多个绝缘支撑杆，所述多个绝缘支撑杆相互平行且每个绝缘支撑杆均沿内层石英管的轴向延伸，电感线圈固定在多个绝缘支撑杆之间。

所述支架还包括多个连接杆，连接杆与绝缘支撑杆数量相等，一个连接杆穿设在一个绝缘支撑杆和所述两个环形固定板中将所述一个绝缘支撑杆与两个环形固定板连接。

每个绝缘支撑杆上沿其轴向间隔设有多个限位凹槽，所述电感线圈的一匝线圈置于一个限位凹槽内。

所述电感线圈包括主体段和分别设于所述主体段两端的两个延伸段，所述主体段缠绕在内层石英管上，两个延伸段朝相反的方向延伸，每个延伸段上设有与所述射频电源连接的电极块。

所述电感线圈为空心结构，所述电感线圈的内部走去离子水。

所述内层石英管的轴向一端设有环形进气管，所述环形进气管上沿其轴向均匀间隔设有多个与反应腔连通的进气孔。

本发明电感线圈通入射频电源后，电感线圈将反应腔内的反应气体电离产生碳原子，这样碳原子会一层一层的落在铜箔或铝箔上，而碳原子与碳原子之间会通过化学键联接在一起，从而在铜箔或铝箔上生长出石墨烯，这样石墨烯具有特定的结构，更有利于锂离子电池的储能，从而使该锂离子电池具有更高的能量密度。

附图说明

图1为本发明实施例中反应室结构的侧面结构图。