[发明专利]蒸镀方法、电子设备的制造方法及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀方法，使基板以直立的状态定位，并且在基板的主面侧配置由多个长条状掩模构成的掩模，通过相对于这些基板及掩模移动的蒸发源，经由分别形成于多个所述长条状掩模的多个开口部，在所述基板的主面实施成膜，其特征在于，

多个所述开口部均由矩形的开口构成，

在进行成膜时，使所述蒸发源在与所述开口部的长边方向一致的方向上移动。

2.一种蒸镀方法，使基板以直立的状态定位，并且在基板的主面侧配置由多个长条状掩模构成的掩模，通过相对于这些基板及掩模移动的蒸发源，经由分别形成于多个所述长条状掩模的多个开口部，在所述基板的主面实施成膜，其特征在于，

以形成在所述长条状掩模的长边方向上排列的列的方式设置多个所述蒸发源，并且，一边使多个所述蒸发源在与所述基板的主面平行且相对于所述长条状掩模的长边方向垂直的方向上移动一边实施成膜。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀方法，其特征在于，

多个所述开口部均由矩形的开口构成，使用以这些开口部的长边方向与所述长条状掩模的长边方向一致的方式构成的长条状掩模，通过所述蒸发源实施成膜。

4.根据权利要求1或2所述的蒸镀方法，其特征在于，

在以使所述长条状掩模的长边方向与铅垂方向一致的方式定位多个所述长条状掩模的状态下，通过所述蒸发源实施成膜。

5.根据权利要求3所述的蒸镀方法，其特征在于，

在以使所述长条状掩模的长边方向与铅垂方向一致的方式定位多个所述长条状掩模的状态下，通过所述蒸发源实施成膜。

6.一种电子设备的制造方法，其特征在于，具有：

将基板及掩模搬送到设置有蒸发源的腔室内的工序；以及

使用权利要求1～5中任一项所述的蒸镀方法在所述基板上形成有机膜的工序。

7.根据权利要求6所述的电子设备的制造方法，其特征在于，

在所述基板上形成有机膜的工序之后，具有蒸镀金属膜的工序。

8.一种蒸镀装置，具有:

基板定位机构，其使基板以直立的状态定位；

掩模定位机构，其在由所述基板定位机构定位了的基板的主面侧配置由多个长条状掩模构成的掩模；以及

蒸发源移动机构，其使蒸发源与由所述基板定位机构定位了的基板的主面平行且直线地移动，

所述蒸镀装置一边通过所述蒸发源移动机构使所述蒸发源移动，一边经由分别形成于多个所述长条状掩模的多个开口部对所述基板的主面实施成膜，其特征在于，

多个所述开口部均由矩形的开口构成，并且，

基于所述蒸发源移动机构的所述蒸发源的移动方向与所述开口部的长边方向一致。

9.一种蒸镀装置，具有:

基板定位机构，其使基板以直立的状态定位；

掩模定位机构，其在由所述基板定位机构定位了的基板的主面侧配置由多个长条状掩模构成的掩模；以及

蒸发源移动机构，其使蒸发源与由所述基板定位机构定位了的基板的主面平行且直线地移动，

所述蒸镀装置一边通过所述蒸发源移动机构使所述蒸发源移动，一边经由分别形成于多个所述长条状掩模的多个开口部对所述基板的主面实施成膜，其特征在于，

所述蒸发源以形成在所述长条状掩模的长边方向上排列的列的方式设置多个，并且，

多个所述蒸发源通过所述蒸发源移动机构而移动的方向相对于所述长条状掩模的长边方向为垂直方向。

10.根据权利要求8或9所述的蒸镀装置，其特征在于，

多个所述开口部均由矩形的开口构成，这些开口部的长边方向与所述长条状掩模的长边方向一致。

11.根据权利要求8或9所述的蒸镀装置，其特征在于，

在通过所述掩模定位机构配置的多个所述长条状掩模中，各长条状掩模的长边方向与铅垂方向一致。

12.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于，

在通过所述掩模定位机构配置的多个所述长条状掩模中，各长条状掩模的长边方向与铅垂方向一致。