[发明专利]钛靶材铜铬合金背板的制作方法在审
| 申请号： | 201811532344.1 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN111318657A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;周友平;边逸军;庞学功;陈勇军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司;丹东华强有色金属加工有限公司 |
| 主分类号： | B22D7/00 | 分类号： | B22D7/00;C22C1/02;C22C1/06;C22C9/00;C22F1/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 钛靶材铜铬 合金 背板 制作方法 | ||
1.一种钛靶材铜铬合金背板的制作方法，其特征在于，包括：
提供合金熔液、氮气；
将所述氮气充入所述合金熔液内。
2.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，将所述氮气从所述合金熔液底部充入。
3.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，将所述氮气充入所述合金熔液内，还包括：将所述合金熔液静置20min-30min，同时将所述合金熔液的温度降至1350℃-1400℃。
4.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，提供合金熔液之前，还包括：提供金属铜、铬。
5.如权利要求4所述制作方法，其特征在于，提供金属铜、铬之后，还包括：提供容器，将所述金属铜放入所述容器，升温到1250℃-1300℃，形成铜熔液。
6.如权利要求5所述制作方法，其特征在于，形成铜熔液后，还包括：于所述铜熔液内加入所述金属铬，搅拌，升温到1500℃-1600℃，再次搅拌，保温20min-30min。
7.如权利要求5所述制作方法，其特征在于，将所述金属铜放入所述容器后，还包括：向所述容器内充入惰性气体。
8.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，将所述氮气充入所述合金熔液内后，还包括：将所述合金熔液进行浇铸工艺，形成合金锭。
9.如权利要求8所述制作方法，其特征在于，所述合金溶液进行浇铸工艺中，控制速度为每分钟380-400kg。
10.如权利要求8所述制作方法，其特征在于，将所述合金锭进行热处理工艺。
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