[发明专利]一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法

权利要求书

1.一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法是按以下步骤进行的：

一、将不锈钢置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中，抽真空至压强为5Pa～10Pa，通入氩气，调节氩气的气体流量为50sccm～90sccm，调节等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强为200Pa～400Pa，在10min～30min将温度升温至600℃～800℃，然后调节射频功率为100W～200W，在压强为200Pa～400Pa、温度为600℃～800℃及射频功率为100W～200W的条件下，对不锈钢表面进行刻蚀处理，处理时间为5min～15min；

二、刻蚀结束后，关闭射频电源，通入氩气及甲烷气体，调节氩气气体流量为50sccm～90sccm，调节甲烷气体流量为10sccm～30sccm，将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强调节为100Pa～500Pa，在压强为100Pa～500Pa、温度为600℃～800℃及射频功率为50W～200W的条件下进行沉积，沉积时间为20min～60min；

三、沉积结束后，关闭射频电源和加热电源，停止通入甲烷气体和氩气，真空冷却至室温，即完成不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法。

2.根据权利要求1所述的一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于步骤一中所述的不锈钢为316L不锈钢、304不锈钢或321不锈钢。

3.根据权利要求1所述的一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于步骤一中所述的不锈钢厚度为0.2mm～0.5mm。

4.根据权利要求1所述的一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于步骤一中将不锈钢置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中，抽真空至压强为5Pa～8Pa，通入氩气，调节氩气的气体流量为50sccm～60sccm，调节等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强为300Pa～400Pa，在20min～30min将温度升温至600℃～700℃，然后调节射频功率为150W～200W。

5.根据权利要求1所述的一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于步骤一中在压强为300Pa～400Pa、温度为600℃～700℃及射频功率为150W～200W的条件下，对不锈钢表面进行刻蚀处理，处理时间为5min～10min。

6.根据权利要求1所述的一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于步骤一中将不锈钢置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中，抽真空至压强为8Pa～10Pa，通入氩气，调节氩气的气体流量为60sccm～90sccm，调节等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强为200Pa～300Pa，在10min～20min将温度升温至700℃～800℃，然后调节射频功率为100W～150W。

7.根据权利要求1所述的一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于步骤一中在压强为200Pa～300Pa、温度为700℃～800℃及射频功率为100W～150W的条件下，对不锈钢表面进行刻蚀处理，处理时间为10min～15min。

8.根据权利要求1所述的一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于步骤二中调节氩气气体流量为50sccm～80sccm，调节甲烷气体流量为10sccm～15sccm，将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强调节为100Pa～400Pa。

9.根据权利要求1所述的一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于步骤二中调节氩气气体流量为80sccm～90sccm，调节甲烷气体流量为15sccm～30sccm，将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强调节为400Pa～500Pa。

10.根据权利要求1所述的一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法，其特征在于步骤二中在压强为100Pa～400Pa、温度600℃～700℃及射频功率100W～200W的条件下进行沉积，沉积时间为20min～40min。