[发明专利]一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法在审
申请号: | 201811533262.9 | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN109554683A | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 郑晓航;鲜怡;蔡逸飞;杨雅倩;蔡伟 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/26;C23C16/513;H01M8/021;H01M8/0213;H01M8/0228 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 岳泉清 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 不锈钢表面 制备 防腐层 碳纳米带 氩气 压强 甲烷气体 射频电源 射频功率 刻蚀 不锈钢 沉积 等离子体增强化学气相沉积 高温燃料电池 不锈钢材料 耐腐蚀性能 加热电源 燃料电池 使用寿命 酸性环境 真空冷却 真空装置 抽真空 | ||
一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法,它涉及不锈钢表面防腐层的制备方法。本发明要解决现有不锈钢材料在燃料电池的酸性环境中耐腐蚀性能差,在高温燃料电池中不锈钢的使用寿命短的问题。制备方法:一、将不锈钢置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中,抽真空,通入氩气,在一定压强、温度及射频功率的条件下,对不锈钢表面进行刻蚀处理;二、刻蚀结束后,关闭射频电源,通入氩气及甲烷气体,在一定压强、温度及射频功率的条件下进行沉积;三、沉积结束后,关闭射频电源和加热电源,停止通入甲烷气体和氩气,真空冷却至室温,即完成不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法。本发明用于不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备。
技术领域
本发明涉及不锈钢表面防腐层的制备方法。
背景技术
随着社会工业化的发展,能源危机和环境污染等问题尤为突出。氢能因其燃烧值高,资源丰富,对环境的影响小等被科学家们认定为最有效清洁能源。燃料电池技术作为氢能应用的代表之一,可以把氢气和氧气反应产生的化学能,通过电化学反应装置直接转化成电能,其能量转化率可达80%以上,同时具有充加燃料时间短、零排放等优点。双极板是燃料电池最重要部件之一,其主要功能:分隔O2和H2,使反应气体均匀分布;收集并导出产生的电流;串联单体电池;此外还有排水和传热等作用。不锈钢材料具有良好的化学稳定性且价格低廉,是目前双极板的首选材料。但不锈钢双极板在燃料电池的酸性环境中工作时存在会发生腐蚀反应释放出浓度较高的Fe、Ni、Cr等金属离子,这些金属离子残留在膜电极中,会毒化催化剂、阻碍质子交换过程,降低反应效率,曾有实验证明未进行表面改性的不锈钢双极板的使用寿命仅为300小时,无法满足燃料电池长期使用的要求。因此,不锈钢用作燃料电池双极板材料必须对其进行表面改性处理,提高材料的耐腐蚀性能。
发明内容
本发明要解决现有不锈钢材料在燃料电池的酸性环境中耐腐蚀性能差,在高温燃料电池中不锈钢的使用寿命短的问题,而提供一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法。
一种不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法是按以下步骤进行的:
一、将不锈钢置于等离子体增强化学气相沉积真空装置中,抽真空至压强为5Pa~10Pa,通入氩气,调节氩气的气体流量为50sccm~90sccm,调节等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强为200Pa~400Pa,在10min~30min将温度升温至600℃~800℃,然后调节射频功率为100W~200W,在压强为200Pa~400Pa、温度为600℃~800℃及射频功率为100W~200W的条件下,对不锈钢表面进行刻蚀处理,处理时间为5min~15min;
二、刻蚀结束后,关闭射频电源,通入氩气及甲烷气体,调节氩气气体流量为50sccm~90sccm,调节甲烷气体流量为10sccm~30sccm,将等离子体增强化学气相沉积真空装置中压强调节为100Pa~500Pa,在压强为100Pa~500Pa、温度为600℃~800℃及射频功率为50W~200W的条件下进行沉积,沉积时间为20min~60min;
三、沉积结束后,关闭射频电源和加热电源,停止通入甲烷气体和氩气,真空冷却至室温,即完成不锈钢表面碳纳米带防腐层的制备方法。
原理:采用等离子体化学气相沉积的方法,进行等离子体刻蚀,有效去除不锈钢表面致密的氧化膜,之后借助氩气电离形成的高能等离子体为甲烷提供反应所需激活能,使甲烷在较低温度下发生化学键断裂和重新组合,从而在不锈钢表面进行碳纳米带膜层的生长制备。
本发明的有益效果是:
1、在等离子体化学气相沉积生长碳纳米带之前,通过等离子体刻蚀,有效去除了不锈钢表面致密的氧化膜,增大材料比表面积,有利于碳纳米带形核生长,形成均匀致密的薄膜。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的