[发明专利]一种气液分离装置在审
| 申请号： | 201811534209.0 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109432828A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 常军 | 申请（专利权）人： | 上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/00 | 分类号： | B01D19/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201613 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空管 分离管 液分离装置 抽气单元 抽出 氢气 抽气口 氦气 纯净度 化工技术领域 气液分离装置 穿过 压强 真空单元 压差 流通 | ||
1.一种气液分离装置，其特征在于，包括：
真空管(12)，其上设有抽气口(211)；
分离管(13)，位于所述真空管(12)内且由可溶性聚四氟乙烯制成，所述分离管(13)内用于流通含有氢气和/或氦气的液体；
抽气单元，通过所述抽气口(211)抽出所述真空管(12)内的气体，使所述分离管(13)内液体中含有的气体穿过所述分离管(13)管壁进入所述真空管(12)内。
2.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述分离管(13)为螺旋式分离管。
3.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述真空管(12)内设有泄漏检测仪(14)，用于检测所述真空管(12)内的所述液体。
4.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述真空管(12)内设有压力检测单元，用于检测所述真空管(12)内的压力。
5.根据权利要求4所述的气液分离装置，其特征在于，所述真空管(12)的绝对压强值大于5Pa。
6.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述液体为正硅酸乙酯。
7.根据权利要求1至6任一项所述的气液分离装置，其特征在于，还包括第一阀门(212)，设于所述抽气单元与所述真空管(12)的连接管路上。
8.根据权利要求7所述的气液分离装置，其特征在于，还包括第二阀门(221)和第三阀门(231)，分别设于所述分离管(13)的介质进口(210)和介质出口(230)。
9.根据权利要求8所述的气液分离装置，其特征在于，所述第一阀门(212)、所述第二阀门(221)及所述第三阀门(231)下方分别设有第一阀门支架(213)、第二阀门支架(222)及第三阀门支架(232)。
10.根据权利要求9所述的气液分离装置，其特征在于，所述第一阀门(212)和所述第三阀门(231)的出口管路上分别设有第一阀门堵头(214)和第三阀门堵头(233)，所述第二阀门(221)的进口管路上设有第二阀门堵头(223)。
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