[发明专利]一种气液分离装置在审
申请号: | 201811534209.0 | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN109432828A | 公开(公告)日: | 2019-03-08 |
发明(设计)人: | 常军 | 申请(专利权)人: | 上海正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司 |
主分类号: | B01D19/00 | 分类号: | B01D19/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201613 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空管 分离管 液分离装置 抽气单元 抽出 氢气 抽气口 氦气 纯净度 化工技术领域 气液分离装置 穿过 压强 真空单元 压差 流通 | ||
本发明涉及化工技术领域,公开一种气液分离装置,包括:真空管,其上设有抽气口;分离管,位于真空管内,分离管内用于流通含有氢气和/或氦气的液体;抽气单元,通过抽气口抽出真空管内的气体,使分离管内液体中含有的气体穿过分离管管壁进入真空管内。本发明通过抽气单元将真空管内的气体抽出,使真空管内的压强小于等于设定值,由于分离管内液体中含有的氢气或者氦气的相对分子质量比较小,且分离管内外存在压差,气体能够穿过分离管壁进入真空管内,并通过真空单元将其抽出,通过该气液分离装置提高了液体的纯净度。
技术领域
本发明涉及化工技术领域,尤其涉及一种气液分离装置。
背景技术
液体中经常会掺杂相对分子质量比较小的气体,而一般很难将其分离出来。例如化学上常用的正硅酸乙酯(Tetraethyl orthosilicate,简称TEOS),常温时为液态的有机物,通常使用储罐封装,将TEOS运输至使用点后,使用蒸发罐进行输送。由于TEOS是液态且刺激性气味、容易燃烧,输送时通常先将氦气接入储罐,将液态的TEOS压出,当TEOS到达设定压力后,将储罐中的TEOS输送出至蒸发系统,蒸发罐将TEOS加热蒸发后输送至使用点进行使用。
经测试,输送过程中液态的TEOS中有氦气残留,现有技术中没有分离TEOS及氦气的装置,经检测发现,压出后的部分TEOS因其中氦气含量较高而导致其纯度较低,致使蒸发后的部分TEOS纯度不能满足使用条件,造成TEOS的浪费。
发明内容
本发明的目的在于提供一种气液分离装置,能够将TEOS中的氦气分离出来,以解决蒸发部分TEOS因其中氦气含量较高而导致其纯度较低,使该部分TEOS不满足使用条件的问题。
为达上述目的,本发明采用以下技术方案:
提供一种气液分离装置,其特征在于,包括:
真空管,其上设有抽气口;
分离管,位于所述真空管内且由可溶性聚四氟乙烯制成,所述分离管内用于流通含有氢气和/或氦气的液体;
抽气单元,通过所述抽气口抽出所述真空管内的气体,使所述分离管内液体中含有的气体穿过所述分离管管壁进入所述真空管内。
作为一种气液分离装置的优选方案,所述分离管为螺旋式分离管。
作为一种气液分离装置的优选方案,所述真空管内设有泄漏检测仪,用于检测所述真空管内的所述液体。
作为一种气液分离装置的优选方案,所述真空管内设有压力检测单元,用于检测所述真空管内的压力。
作为一种气液分离装置的优选方案,所述真空管的绝对压强值大于5Pa。
作为一种气液分离装置的优选方案,所述液体为正硅酸乙酯。
作为一种气液分离装置的优选方案,还包括第一阀门,设于所述抽气单元与所述真空管的连接管路上。
作为一种气液分离装置的优选方案,还包括第二阀门和第三阀门,分别设于所述分离管的介质进口和介质出口。
作为一种气液分离装置的优选方案,所述第一阀门、所述第二阀门及所述第三阀门下方分别设有第一阀门支架、第二阀门支架及第三阀门支架。
作为一种气液分离装置的优选方案,所述第一阀门和所述第三阀门的出口管路上分别设有第一阀门堵头和第三阀门堵头,所述第二阀门的进口管路上设有第二阀门堵头。
本发明的有益效果为:通过抽气单元将真空管内的气体抽出,使真空管内的压强小于等于设定值,由于分离管内液体中含有的氢气或者氦气的相对分子质量比较小,且分离管内外存在压差,气体能够穿过分离管壁进入真空管内,并通过真空单元将其抽出,通过该气液分离装置提高了液体的纯净度。
附图说明
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