[发明专利]一种激光剥离方法

说明书

本发明提供了一种激光剥离方法，该方法包括提供待剥离组件，该待剥离组件包括衬底和形成于衬底之上的靶材膜层；采用一组同心环形光斑激光束从边缘向中心依次顺序照射衬底表面，以对衬底进行剥离。通过采用一组同心环形光斑激光束对衬底进行剥离，相比于传统的点光斑激光束而言，极大地提高了一次照射面积，从而提高了剥离速率。

技术领域

本发明涉及激光剥离技术领域，具体涉及一种激光剥离方法。

背景技术

在氮化镓基发光二极管的制备过程中，通常需要利用激光剥离技术将蓝宝石衬底去除。现有技术中为了减小激光剥离过程产生的热量冲击波，通常采用小面积的点光斑激光束按照一定的扫描方式，例如光栅式、螺旋式等，对待剥离界面进行扫描，以使蓝宝石衬底脱粘，实现分离。然而，小面积的点光斑激光束的使用极大地限制了剥离速率的提升。

发明内容

有鉴于此，本发明致力于提供一种激光剥离方法，以解决现有技术中剥离速率低的问题。

本发明一方面提供了一种激光剥离方法，包括：提供待剥离组件，该待剥离组件包括衬底和形成于衬底之上的靶材膜层；采用一组同心环形光斑激光束从边缘向中心依次顺序照射衬底表面，以对衬底进行剥离。

可选地，一组同心环形光斑激光束中的每一个环形光斑激光束的轮廓形状和待剥离组件的形状相适应。

可选地，采用一组同心环形光斑激光束从边缘向中心依次顺序照射衬底表面，以对衬底进行剥离包括：将激光剥离设备移动到待剥离组件正上方；调整激光剥离设备，使其依次顺序出射一组同心环形光斑激光束，以从边缘向中心顺序照射衬底表面。

可选地，一组同心环形光斑激光束包括一组同心圆环光斑激光束。

可选地，相邻发射的两个同心圆环光斑激光束中在先发射的圆环光斑激光束的内径小于等于在后发射的圆环光斑激光束的外径。

可选地，一组同心圆环光斑激光束包括实心圆光斑激光束。

可选地，一组同心圆环光斑激光束的径向宽度相等；或一组同心圆环光斑激光束的径向宽度依次递减。

可选地，在调整激光剥离设备，使其依次顺序出射一组同心环形光斑激光束之后还包括：设置激光剥离设备发出一组同心环形光斑激光束中的每一个环形光斑激光束的持续时间。

可选地，衬底包括蓝宝石衬底，靶材膜层包括氮化系半导体材料膜层。

可选地，一组环形光斑激光束中的每一个环形光斑激光束的边界轮廓为锯齿状。