[发明专利]一种提高不规则样品的导电性能的方法

权利要求书

1.一种提高不规则样品的导电性能的方法，其特征在于，包括如下步骤：

a、确定样品的待观测区域,以待观测区域向上为初始位置；

b、将a步骤的样品沿水平方向的翻转轴翻转110～130度，然后进行第一次抽真空镀金；

c、将第一次抽真空镀金后的样品沿b步骤的翻转方向翻转110～130度，然后进行第二次抽真空镀金；

d、将第二次抽真空镀金后的样品沿c步骤的翻转方向翻转至待观测区域向上，然后进行第三次抽真空镀金，得到导电的样品；

且设置有样品托，b步骤和c步骤翻转后，采用导电胶布将样品粘接在样品托上再进行抽真空镀金，d步骤翻转后，将样品通过导电底座固定在样品托上，然后进行第三次抽真空镀金。

2.根据权利要求1所述的提高不规则样品的导电性能的方法，其特征在于：b步骤和c步骤均翻转120度。

3.根据权利要求1所述的提高不规则样品的导电性能的方法，其特征在于：所述导电底座为粘接在样品托上的导电胶布，导电底座具有定位槽，步骤d中，样品放置于定位槽中并与导电底座粘接，且样品的待观测区域向上。

4.根据权利要求3所述的提高不规则样品的导电性能的方法，其特征在于：d步骤后采用第一导电胶布纵向绕过样品的顶部，第一导电胶布避开待观测区域，第一导电胶布的两端固定到样品托，将样品向下压紧。

5.根据权利要求4所述的提高不规则样品的导电性能的方法，其特征在于：所述第一导电胶布为2～3根，且呈交叉分布。

6.根据权利要求5所述的提高不规则样品的导电性能的方法，其特征在于：采用第一导电胶布纵向绕过样品的顶部，将样品向下压紧后，再利用第二导电胶布箍紧位于样品底部的第一导电胶布。

7.根据权利要求1～6任一项所述的提高不规则样品的导电性能的方法，其特征在于：抽真空镀金采用磁控溅射法，真空度为≤6Pa，镀层的厚度为10～20nm。