[发明专利]一种提高不规则样品的导电性能的方法

说明书

本发明涉及一种提高不规则样品的导电性能的方法，属于分析测试样品制备技术领域。本发明解决的技术问题是提供一种提高不规则样品的导电性能的方法。该方法首先确定样品的待观测区域，以待观测区域向上为初始位置；然后将样品翻转110～130度，抽真空镀金；再将样品沿相同的方向翻转110～130度，抽真空镀金；再将样品沿相同的方向翻转至初始位置，抽真空镀金，得到导电样品。通过分别对不规则样品沿着特定方向设置三次镀金，尽可能让样品的表面全方面导电，加上导电胶布丝的缠绕可以实现样品全方位导电，对于不规则的块体，球体，甚至复杂多样的生物样品均有比较好的效果。该方法不光适用于扫描电镜测试，还可以适用于那些需要导体的各种应用区域。

技术领域

本发明涉及一种提高不规则样品的导电性能的方法，属于分析测试样品制备技术领域。

背景技术

很多不规则样品(如常见生物样品)并不具有良好的导电性。很多形貌观察及分析测试领域(比如扫描电子显微镜SEM、扫描隧道显微镜STM，俄歇电子能谱AES和电子顺磁共振ESR等)为了提高分辨率，一般要求测试样品具有良好的导电性。以扫描电子显微镜为例，为了研究各种仿生材料设计等科研目的观察其表面形貌时，通常在样品身上先镀上10-20nm左右厚度的金膜，使得表面可以产生更多的二次电子，才可以使用高电压和波长更小的电子束，提高二次电子的分辨率，提高最大放大倍数，让它更好的满足分析测试要求。

常规的镀金制样方法为将样品固定在样品台上，待观测区域向上，然后镀金，观测即可，采用该种方法镀金后，样品的接触导电不好，满足不了导电要求，观测时，容易出现图像扭曲，变形、晃动等缺陷。且因为生物样品形状多变，如蚂蚁和蝴蝶等昆虫，在常规镀金制样中很难找到一个比较合适的区域用双面导电胶让它和样品台紧密接触(在样品移动和测试旋转时可能产生移动，影响样品的导电性)。即无法使样品充分固定，也更难让它充分导电，于是寻找一种能充分固定各种异形样品且让它完美导电的方法变得十分重要。同时生物样品和多孔材料抽高真空(扫描电镜需要10^-3Pa以上的高真空)较难，而且部分官能区域在电镜下并不好辨认，因此需要一种镀金和导电胶布制备不规则体的导电样品工艺来解决上述难题。

发明内容

针对以上缺陷，本发明解决的技术问题是提供一种提高不规则样品的导电性能的方法。

本发明提高不规则样品的导电性能的方法，包括如下步骤：

a、确定样品的待观测区域,以待观测区域向上为初始位置；

b、将a步骤的样品沿水平方向的翻转轴翻转110～130度，然后进行第一次抽真空镀金；

c、将第一次抽真空镀金后的样品沿b步骤的翻转方向翻转110～130度，然后进行第二次抽真空镀金；

d、将第二次抽真空镀金后的样品沿c步骤的翻转方向翻转至待观测区域向上，然后进行第三次抽真空镀金，得到导电的样品。

优选的，b步骤和c步骤均翻转120度。

优选的，设置有样品托，b步骤和c步骤翻转后，采用导电胶布将样品粘接在样品托上再进行抽真空镀金，d步骤翻转后，将样品通过导电底座固定在样品托上，然后进行第三次抽真空镀金。

优选的，所述导电底座为粘接在样品托上的导电胶布，导电底座具有定位槽，步骤d中，样品放置于定位槽中并与导电底座粘接，且样品的待观测区域向上。

优选的，d步骤后采用第一导电胶布纵向绕过样品的顶部，第一导电胶布避开待观测区域，第一导电胶布的两端固定到样品托，将样品向下压紧。

作为优选方案，所述第一导电胶布为2～3根，且呈交叉分布。

优选的，采用第一导电胶布纵向绕过样品的顶部，将样品向下压紧后，再利用第二导电胶布箍紧位于样品底部的第一导电胶布。