[发明专利]一种真空室密封大门的锁紧装置及能够承受正负压的真空室密封大门

权利要求书

1.一种真空室密封大门的锁紧装置，真空室(5)和门体(4)通过锁紧装置连接，其特征在于，锁紧装置包括第一锁紧机构(1)和第二锁紧机构(2)；

第一锁紧机构(1)安装于真空室(5)一侧，第二锁紧机构(2)包括安装于门体(4)一侧的第一部分和安装于真空室(5)另一侧的第二部分，第一部分和第二部分构成插销机构，将真空室(5)与门体(4)锁紧或松开；

第一锁紧机构(1)包括第一动力源(1-1)、转轴(1-3)和弓形夹(1-4)，转轴(1-3)与弓形夹(1-4)固定连接，转轴(1-3)外圆上套设有转接轴(1-6)，第一动力源(1-1)连接有推杆，推杆下端设有转接座(1-5)，转接座(1-5)和转接轴(1-6)连接；在第一动力源(1-1)的作用下，推杆运动，转接座(1-5)带动转接轴(1-6)旋转，转接轴(1-6)通过转轴(1-3)带动弓形夹(1-4)旋转，弓形夹(1-4)与门体(4)未安装第二锁紧机构(2)的一侧卡紧或松开；

第二锁紧机构(2)的第一部分包括第一栓板(2-3)，第一栓板(2-3)固定连接在门体(4)侧壁上，第一栓板(2-3)上开有栓孔；

第二锁紧机构(2)的第二部分包括第二动力源(2-1)和插销(2-2)，第二动力源(2-1)连接有推杆，插销(2-2)设在推杆下端；

当门体(4)与真空室(5)紧闭时，推杆向下运动，带动插销(2-2)向下运动穿过第一栓板(2-3)；

当真空室(5)与门体(4)需要锁紧时，第一锁紧机构(1)和第二锁紧机构(2)均处于锁紧状态，当真空室(5)与门体(4)需要松开时，第一锁紧机构(1)和第二锁紧机构(2)均处于松开状态。

2.根据权利要求1所述的真空室密封大门的锁紧装置，其特征在于，第一锁紧机构(1)还包括连接板(1-2)，连接板(1-2)固定连接在真空室(5)侧壁上，转轴(1-3)通过轴承支架(1-8)与连接板(1-2)连接。

3.根据权利要求1所述的真空室密封大门的锁紧装置，其特征在于，插销(2-2)为楔形插销，横截面宽度从下至上逐渐变大。

4.根据权利要求1所述的真空室密封大门的锁紧装置，其特征在于，第一栓板(2-3)包括第一上栓板(2-31)和第一下栓板(2-32)，在第一上栓板(2-31)和第一下栓板(2-32)上均开有供插销(2-2)插入的栓孔；当门体(4)与真空室(5)紧闭时，插销(2-2)穿过第一上栓板(2-31)和第一下栓板(2-32)。

5.根据权利要求4所述的真空室密封大门的锁紧装置，其特征在于，第二部分还包括第二栓板(2-4)，当门体(4)与真空室(5)紧闭时，第二栓板(2-4)伸入第一上栓板(2-31)和第一下栓板(2-32)之间，插销(2-2)依次穿过第一上栓板(2-31)、第二栓板(2-4)和第一下栓板(2-32)。

6.根据权利要求1所述的真空室密封大门的 锁紧装置，其特征在于，第二部分还包括第二栓板(2-4)，第二栓板(2-4)固定在真空室(5)的右侧壁上，第二栓板(2-4)上开有栓孔，当门体(4)与真空室(5)紧闭时，插销(2-2)穿过第一栓板(2-3)和第二栓板(2-4)。

7.根据权利要求6所述的真空室密封大门的锁紧装置，其特征在于，第二栓板(2-4)包括第二上栓板(2-41)和第二下栓板(2-42)，在第二上栓板(2-41)和第二下栓板(2-42)上均开有供插销(2-2)插入的栓孔；当门体(4)与真空室(5)紧闭时，插销(2-2)依次穿过第二上栓板(2-41)、第一栓板(2-3)和第二下栓板(2-42)。

8.采用权利要求1～7任意一项所述真空室密封大门的锁紧装置的能够承受正负压的真空室密封大门。

9.根据权利要求8所述的能够承受正负压的真空室密封大门，其特征在于，门体(4)上设有导向机构(3)，门体(4)沿着导向机构(3)在真空室(5)前方滑动；

导向机构(3)包括横梁(3-1)、立柱(3-2)、导向套(3-3)和吊环(3-4)，横梁(3-1)位于真空室(5)上方且位于真空室(5)靠近门体(4)的一侧，横梁(3-1)一端连接于真空室(5)上方，另一端与立柱(3-2)连接；导向套(3-3)套设在横梁(3-1)上，导向套(3-3)上设有滚轮，滚轮相对横梁(3-1)滚动；门体(4)通过吊环(3-4)与导向套(3-3)固定连接。