[发明专利]一种防止石墨舟滑落的保护装置的设计方法在审
| 申请号： | 201811545797.8 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111341706A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 缪爱群;张琳 | 申请（专利权）人： | 浙江鸿禧能源股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314205 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防止 石墨 滑落 保护装置 设计 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种防止石墨舟滑落的保护装置的设计方法，该保护装置由五块挡板（A,B,C,D,E）相互连接组成，并呈对称分布，其特征在于：所述的挡板（A）、挡板（B）、挡板（C）、挡板（D）依次以互相垂直的方式连接，并且挡板（B）的高度小于挡板（D）的高度；所述的挡板（E）与挡板（D）所成的角度θ大于等于90º小于等于180º；所述的挡板（C）的长度比石墨舟舟角的宽度长2mm及以上，且在水平方向投影长度小于石墨舟舟角外侧长度（a）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
