[发明专利]一种防止石墨舟滑落的保护装置的设计方法在审
申请号: | 201811545797.8 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN111341706A | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 缪爱群;张琳 | 申请(专利权)人: | 浙江鸿禧能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
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地址: | 314205 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防止 石墨 滑落 保护装置 设计 方法 | ||
本发明公开了一种防止石墨舟滑落的保护装置的设计方法,该保护装置由五块挡板(A,B,C,D,E)相互连接组成,并呈对称分布;所述的挡板(A)、挡板(B)、挡板(C)、挡板(D)依次以互相垂直的方式连接,并且挡板(B)的高度小于挡板(D)的高度;所述的挡板(E)与挡板(D)所成的角度θ大于等于90º小于等于180º;所述的挡板(C)的长度比石墨舟舟角的宽度长2mm及以上,且在水平方向投影长度小于石墨舟舟角外侧长度(a)。本发明的有益效果是有效地降低了生产成本和提高生产效率。
技术领域
本发明涉及晶硅太阳能电池片制造领域,具体地涉及一种防止石墨舟滑落的保护装置的设计方法。
背景技术
在晶体硅太阳能电池片生产过程中的PECVD工序,利用石墨舟承载硅片实现镀膜工艺流程。在此过程中,通过石墨舟小推车实现石墨舟的转移,并需要频繁地倾斜小推车来检查石墨舟内硅片的状态。因此,会出现石墨舟舟角断裂破损导致承载硅片的石墨舟从小推车上滑落的情况,造成生产成本增加、生产效率降低的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种防止石墨舟滑落的保护装置的设计方法,达到降低生产成本、提高生产效率的目的。
为了达到上述目的,本发明采用的技术方案是提供一种防止石墨舟滑落的保护装置的设计方法,该保护装置由五块挡板(A,B,C,D,E)相互连接组成,并呈对称分布;所述的挡板(A)、挡板(B)、挡板(C)、挡板(D)依次以互相垂直的方式连接,并且挡板(B)的高度小于挡板(D)的高度;所述的挡板(E)与挡板(D)所成的角度θ大于等于90º小于等于180º;所述的挡板(C)的长度比石墨舟舟角的宽度长2mm及以上,且在水平方向投影长度小于石墨舟舟角外侧长度(a)。
本发明的有益效果是有效地降低生产成本和提高生产效率。
附图说明
图1 现有技术中石墨舟和小推车使用示意图
图中:1表示石墨舟;2表示石墨舟上料小推车承载面
图2 本发明中一种防止石墨舟滑落的保护装置的结构图
图中:A,B,C,D,E分别表示不同位置的挡板;θ表示挡板(E)与挡板(D)所成的角度;a表示石墨舟舟角外侧长度。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的技术方案作进一步地详细说明。
在本实施方式中,采用的对比实验设计方案分别为现有技术中石墨舟和本发明中一种防止石墨舟滑落的保护装置的设计方法使用情况统计分析。本发明技术方案一种防止石墨舟滑落的保护装置的设计方法,该保护装置由五块挡板(A,B,C,D,E)相互连接组成,并呈对称分布;所述的挡板(A)、挡板(B)、挡板(C)、挡板(D)依次以互相垂直的方式连接,并且挡板(B)的高度小于挡板(D)的高度;所述的挡板(E)与挡板(D)所成的角度θ为120º;所述的挡板(C)的长度比石墨舟舟角的宽度长2.5mm,石墨舟舟角外侧长度(a)为52mm。通过实验统计,采用现有技术中石墨舟使用方法,因石墨舟舟角断裂破损导致承载硅片的石墨舟从小推车上滑落的情况在一年内出现三次;而采用本发明中一种防止石墨舟滑落的保护装置的设计方案,未出现因石墨舟舟角断裂破损导致承载硅片的石墨舟从小推车上滑落的情况。因此,本发明提供的技术方案有效地降低了生产成本和提高生产效率。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造