[发明专利]一种H、O原子区分方法

说明书

本发明提供一种H、O原子区分方法，包括如下步骤：提供第一探测器和第二探测器；统计所述第一探测器的第一粒子计数C₁及所述第二探测器的第二粒子计数C₂；根据所述第一粒子计数C₁及所述第二粒子计数C₂区分预定能量范围内的H、O原子。本发明的方法提供不同窗厚度的探测器，利用不同能量的H、O原子对不同窗厚度的探测器的穿透能力不同，比较方便地区分预定能量范围内的H、O原子。利用本发明的方法区分H、O原子的错误率比较低，准确率相对较高。目前，国内外尚无利用本发明所述的方法区分H、O原子的先例，因此本发明的利用不同窗厚度的探测器来区分H、O原子的方法具有开创性意义。

技术领域

本发明涉及空间中性原子成像及带电粒子探测空间载荷H、O成分分析领域，具体涉及一种H、O原子区分方法。

背景技术

现有空间中性原子成像及带电粒子探测空间载荷区分H、O成分技术方法包括三大类：飞行时间法(Time Of Flight,TOF)，得到粒子的运动速度，利用相近能量的H、O原子运动速度不同来区分；利用H、O原子通过碳薄膜产生的二次电子数不同，通过微通道板(MCP)收集二次电子信号，利用信号的脉高分析来区分原子种类；结合TOF和固体半导体探测器(SSD)测量的能量来区分H、O原子种类。

现有的上述区分H、O原子的方法，无论是利用H、O原子的运动速度还是利用H、O原子产生的二次电子来区分H、O原子，均会受到空间极紫外/紫外辐射的强烈影响，从而影响H、O原子区分的正确率。另外，上述方法所需的时间较长，这也会一定程度上影响H、O原子区分的结果。

发明内容

为了克服上述现有技术中上述区分H、O原子的方法中的缺陷和不足，提供一种准确率高、适用性广的H、O原子区分方法。

根据本发明，提供了一种H、O原子区分方法，该方法包括如下步骤：

提供第一探测器和第二探测器；

统计所述第一探测器的第一粒子计数C1及所述第二探测器的第二粒子计数C2；

根据所述第一粒子计数C1及所述第二粒子计数C2区分预定能量范围内的H、O原子；

其中，C1：所述第一探测器在预定能量范围内的粒子计数；

C2：所述第二探测器在预定能量范围内的粒子计数。

可选地，提供所述第一探测器和所述第二探测器的步骤包括：

对所述第一探测器和第二探测器的死层进行减薄；

在所述第一探测器和所述第二探测器的灵敏区的入射面掺杂多晶硅层；

在所述多晶硅层的表面附镀铝层。

可选地，对所述死层进行减薄的步骤减去的所述死层的厚度包括1μm，所述多晶硅层的厚度介于所述铝层的厚度介于

可选地，所述第一探测器和所述第二探测器包括硅半导体探测器，所述第一探测器的多晶硅层厚度包括铝层厚度包括所述第二探测器的多晶硅层厚度包括铝层厚度包括

可选地，按照如下公式统计所述第一探测器的第一粒子计数C1及所述第二探测器的第二粒子计数C2：

C₁＝C_1H+C_1O，C₂＝C_2H+C_2O，

其中，C_1H：所述第一探测器探测到的所述预定能量范围内的H原子计数；

C_1O：所述第一探测器探测到的所述预定能量范围内的O原子计数；