[发明专利]一种非金属黑硅制绒液以及利用该制绒液进行制绒的方法

权利要求书

1.一种非金属黑硅制绒方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)提供制绒液；所述制绒液包含氢氟酸和硝酸，还包含添加剂；所述添加剂包含如下组分：渗透剂，所述渗透剂选自十二烷基苯磺酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠中的一种或多种；缓蚀剂，所述缓蚀剂选自膦羧酸、琉基苯并噻唑、苯并三唑、磺化木质素中的一种或多种；消泡剂；和溶剂；在所述添加剂中，所述渗透剂的质量百分含量为0.01％至10％，所述缓蚀剂的质量百分含量为0.1％至10％；所述消泡剂为有机硅消泡剂，所述消泡剂在所述添加剂中的质量百分含量为0.001％至1％；所述添加剂的体积占所述制绒液体积的0.5％至1.5％；所述氢氟酸在所述制绒液中的浓度为300至360g/L，所述硝酸在所述制绒液中的浓度为90至150g/L；

(2)将硅片浸入所述制绒液中；所用的硅片为带有损伤层的硅片或经酸液或碱液刻蚀后的硅片；

(3)开启光源照射硅片表面；所述光源为LED光源、卤素灯光源、氙灯光源或激光光源中的一种或多种；

(4)采用去离子水清洗硅片；

(5)进行扩孔处理；将硅片浸入扩孔液中进行扩孔处理；所述扩孔液为酸性腐蚀液；所述酸性腐蚀液包含氢氟酸、硝酸和水；其中，氢氟酸浓度为50至90g/L，硝酸浓度为360至600g/L；

(6)将硅片依次进行清洗、碱洗、水洗、酸洗、水洗和烘干。

2.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，在步骤(2)中，

将硅片采用水平放置或垂直放置的方法浸入所述制绒液中，其中，水平放置时硅片完全浸没在制绒液中或一个面与制绒液接触，另一个面与空气接触。

3.根据权利要求1所 述的制绒方法，其特征在于，在步骤(3)中，所述光源只照射硅片的一个面。

4.根据权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，在步骤(6)中，所述碱洗的工艺条件包括：采用0.1至5％的氢氧化钠或氢氧化钾溶液进行碱洗，碱洗温度为10至40℃，时间为10至180s；和

所述酸洗的工艺条件包括：采用氢氟酸、盐酸和水按照1:2:4的体积比组成的混合溶液进行酸洗，其中，氢氟酸的体积以40％氢氟酸计，盐酸的体积以37％盐酸计，酸洗温度为10至40℃，时间为10至180s。