[发明专利]一种非金属黑硅制绒液以及利用该制绒液进行制绒的方法

说明书

本发明涉及一种非金属黑硅制绒液以及利用该制绒液进行制绒的方法。所述非金属黑硅制绒液，包含氢氟酸和硝酸，还包含添加剂；所述添加剂包含如下组分：渗透剂，所述渗透剂选自十二烷基苯磺酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠中的一种或多种；缓蚀剂，所述缓蚀剂选自膦羧酸、琉基苯并噻唑、苯并三唑、磺化木质素中的一种或多种；消泡剂；和溶剂。所述制绒方法包括：提供制绒液；将硅片浸入所述制绒液中；开启光源照射硅片表面；清洗硅片；进行扩孔处理；将硅片依次进行清洗、碱洗、水洗、酸洗、水洗和烘干。该制绒液可以有效降低金刚线多晶硅片的反射率，该方法成本低、工艺稳定。

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种非金属黑硅制绒液以及利用该制绒液进行制绒的方法。

背景技术

目前在光伏领域多晶硅硅片的切割以金刚线多线切割技术为主，该技术具有切割效率高、加工成本低和环境污染小等优点，但是该技术切割的硅片由于表面损伤层浅，常规的酸制绒工艺加工的表面反射率较高，电池效率偏低。目前太阳能电池生产过程中，多采用HF-HNO₃-H₂O+添加剂体系对硅片表面进行织构化(制绒)处理，但是使用该体系制得的硅片表面反射率仍然较高。

为了解决金刚线多晶制绒添加剂常规制绒后反射率偏高的问题，人们尝试用等离子体气相刻蚀法(RIE)和贵金属辅助刻蚀法(MAAC)来对金刚线多晶硅片进行表面织构，但是RIE方法设备成本高、工艺稳定性差；而MAAC方法需要用到硝酸银，对环境危害较大，且工艺稳定性差，也不适合规模化生产。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明所要解决的技术问题是：提供一种可应用于金刚线切割多晶硅片的制绒方法，可以有效降低金刚线多晶硅片的反射率。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了如下技术方案：

1、一种非金属黑硅制绒液，包含氢氟酸和硝酸，还包含添加剂；

所述添加剂包含如下组分：

渗透剂，所述渗透剂选自十二烷基苯磺酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、十二烷基硫酸钠中的一种或多种；

缓蚀剂，所述缓蚀剂选自膦羧酸、琉基苯并噻唑、苯并三唑、磺化木质素中的一种或多种；

消泡剂；和

溶剂。

2、根据技术方案1所述的非金属黑硅制绒液，在所述添加剂中，所述渗透剂的质量百分含量为0.01％至10％，所述缓蚀剂的质量百分含量为0.1％至10％。

3、根据技术方案2所述的非金属黑硅制绒液，所述消泡剂为有机硅消泡剂；和所述消泡剂在所述添加剂中的质量百分含量为0.001％至1％。

4、根据技术方案2或3所述的非金属黑硅制绒液，所述添加剂的添加量满足如下的条件：所述添加剂的体积占所述制绒液体积的0.5％至1.5％。

5、根据技术方案1所述的非金属黑硅制绒液，所述氢氟酸在所述制绒液中的浓度为300至360g/L；和/或

所述硝酸在所述制绒液中的浓度为90至150g/L。

6、一种非金属黑硅制绒方法，包括如下步骤：

(1)提供技术方案1至5任一项所述制绒液；

(2)将硅片浸入所述制绒液中；

(3)开启光源照射硅片表面；

(4)清洗硅片；

(5)进行扩孔处理；