[发明专利]一种改变离子束方向的装置

权利要求书

1.一种改变离子束方向的装置，其特征在于，包括：

离子源，用于发射离子束；

金属整体，用于调整所述离子束的反射方向，使所述离子束的反射方向与所述金属整体所在平面之间的夹角为第一夹角θ，0°≤第一夹角θ＜90°；

所述金属整体表面均匀分布有球孔，其边缘处具有一定角度，其与金属整体所在平面之间的夹角为β；

所述离子源具有离子偏离角度α，离子偏离角度α为离子束与金属整体之间的夹角，离子偏离角度α与金属整体对应设置；

所述改变离子束方向的装置的操作方法，其操作步骤包括：

S1：离子源发射离子束，离子束以离子偏离角度α撞击金属整体；

S2：检测当前离子束与夹角β之间的撞击力度，获取检测数值x1；

S21：改变金属整体与金属整体所在平面之间的夹角为β1，离子源发射离子束，离子束以离子偏离角度α撞击金属整体，检测当前离子束与夹角β1之间的撞击力度，获取检测数值x2；

S22：改变金属整体与金属整体所在平面之间的夹角为β2，离子源发射离子束，离子束以离子偏离角度α撞击金属整体，检测当前离子束与夹角β2之间的撞击力度，获取检测数值x3；

S2n：改变金属整体与金属整体所在平面之间的夹角为βn，离子源发射离子束，离子束以离子偏离角度α撞击金属整体，检测当前离子束与夹角βn之间的撞击力度，获取检测数值xn；

S3：对比x1、x2、x3……xn的撞击力度数值大小，确定最终离子束的反射方向与所述金属整体所在平面之间的第一夹角θ的大小。